反应磁控溅射法制备tic军n镀层的组织结构与性能研究.docxVIP

摘 要反 摘 要 反 应 磁 控 溅 射 法 制 备 Ti (C ，N )镀 层 的 组 织 结 构 与 性 能 研 究 学 科 专 业 : 材 料 ‘学 研 究 生 : 李 斌 签 名 : 指 导 教 师 : 张 国 君 副 教 授 签 名 : 摘 要 本 文 采 用 反 应 磁 控 溅 射 技 术 并 选 择 石 墨 靶 材 作 为 镀 层 生 长中 所 需 的 碳 源 ，制 备 了 一 系 列 碳 含 量 不 同 的 Ti (c ，N )镀 层 。使 用 X 射 线 衍 射 、扫 描 电 子 显 微 镜 及 透 射 电 子 显 微 镜 、X 射 线 光 电 子 能 谱 对 所 制 备 镀 层 的 相 组 成 、品 体 结 构 、成 分 及 微 观 组 织 进 行 了检 测 与 分 析 ; 使 用 维 氏 显 微 硬 度 计 、洛 氏 压 痕 和 销 盘 试验 机 对 所 制 备 镀 层 的 硬 度 、结 合 强 度 以 及 摩 擦 磨 损 性 能 进 行 了 测 试 。 研 究 结 果 表 明 : 所 制 备 的 TI N 镀 层 和 Ti (C ，N )镀 层 具 有 致 密 的 扫一状 显微 组 织 而 Ti c 镀 层 具 有 纳 米 品 和 少 量 非 品 的 混 合 织.织 ， 同 时 ，Ti (C ，N )镀 层 和 TI C 镀 层 还 具 有 典 型 的 层 周 期 仅 为 儿 纳 米 的 多 层 结 构 。石 墨 靶 材 电 流 的 变 化 对 Ti (C ，N )镀 层 的 相 组 成 及 结 构 有 很 大 影 响 ，随 石 墨 靶 材 电 流 的 增 加 ， 镀 层 内 晶 体 相 逐 渐 由 富 TI N 相 转 变 为 富 TI C0 7N O.3 相 ， 在 高 的 石 墨 靶 材 电流 ‘卜，还 出现 了 Ti c 相 ，并 且 Ti (C ，N) 镀 层 内还 存 在 少 量 价 键 结 构 为 Sp，c 一c 的 碳 单 质 。 Ti (C ，N) 镀 层 微 观 组 织 随 石 墨 靶 材 电 流 增 加 逐 渐 由细 小 的 柱 状 组 织 转 变 为 纳 米 颗 粒 镶 嵌 在 非 晶 基 体 的 纳 米 复 合 组 织 ，增 加 石 墨 靶 材 电 流 不 仅 明 显 细 化 了镀 层 内 品 粒 尺 寸 而 且 也 减 少 了纳 米 复 合 镀 层 内纳 米 颗 粒 数 量 。 多层 Ti (C ，N )镀 层 在 多层 周 期 厚 度 较 小 时 镀 层 仍 为 柱 状 生 长， 而 随 着 石 墨 靶 材 电 流 的 增 加 多 层 周 期 厚 度 逐 渐 增 大 并 且 镀 层 内柱 状 组 织 逐 渐 消 失 。 Ti (C ，N) 镀 层 具 有 高 硬 度 (44 G Pa )、和 基 体 良好 的 结 合 以及 低 的 摩 擦 系 数 (0. 25 )，这 些 性 能 与 镀 层 内 细 小 的 品 粒 尺 寸 以及 镀 层 内存 在 少 量 的 sp，c 一c 的 碳 单 质 有 关 。少 量 石 墨相 的 出 现 并 没 有 降 低 Ti (C ，N )镀 层 的硬 度 ，这 是 因 为 镀 层 的 纳 米 多 层 结 构 不 仅 明 显 增 加 了镀 层 的 硬 度 而 且 当 承 受 加 载 时 能 有 效 释 放 应 力 集 中 从 而 增 加 镀 层 的 结 合 强 度 。Ti (C ，N )镀 层 的这 些 优 异 的 综 合 力 学 性 能 及 独 特 的 组 织 结 构 使 镀 层 还 具 有 优 异 的抗 磨 损 性 能 ， 与 TI N 镀 层 和 TI C 镀 层 相 比 ， 体 积 比 磨 损 率 降 低 了 一 个 数 量 级 。 相 比 于 Ti (C ，N ) 镀 层 ，Ti (C ，N )/ G L C 复 合 镀 层 表 现 出 了 更 优 异 的 抗 磨 损 性 能 ， 这 不 仅 因 为 底 层 Ti (C ，N )镀 层 的 高 硬 度 及 良好 的 结 合 性 能 ，还 与表 层 G L C 镀 层 低 的 摩 擦 系 数 有 关 。 该 复 合 镀 层 结 合 了 Ti (C ，N )镀 层 和 G L c 镀 层 两 者 的 优 点 ，进 一 步 提 高 了 镀 层 的 抗 磨 损 性 能 。 关 键 字 : 反 应 磁 控 溅 射 ; Ti (C ，N )镀 层 ; 石 墨 靶 材 ; 多 层