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半导体制造行业研究报告 2017 1 对半导体制造设备行业的整体研究 通过对参加这次展会厂商的总体范围的了解，对半导体制造产业链的总体情况有了基本 的认识，半导体制造涉及以下几个相关的细分行业。 1.1 晶圆加工设备 在半导体制造中专为晶圆加工的工序提供设备及相关服务的供应商，包括光刻设备、 测量与检测设备、沉积设备、刻蚀设备、化学机械抛光 (CMP)、清洗设备、热处理设备、 离子注入设备等。 1.2 厂房设备 包括工厂自动化、工厂设施、电子气体和化学品输送系统、大宗气体输送系统等。 1.3 晶圆加工材料 在半导体制造中提供原材料和相关服务的供应商，包括多晶硅、硅晶片、光掩膜、电 子气体及化学、光阻材料和附属材料、 CMP料浆、低 K 材料等。 1.4 测试封装设备 在半导体测试和封装过程中提供设备及其他相关服务的供应商。主要涉及晶圆制程的 后道工序，就是将制成的薄片 “成品”加工为独立完整的集成电路。 包括切割工具及材料、 自动测试设备、探针卡、封装材料、 引线键合、倒装片封装、 烧焊测试、 晶圆封装材料等。 1.5 测试封装材料 在半导体测试和封装过程中提供材料和相关服务的供应商，包括悍线、层压基板、引 线框架、塑封料、贴片胶、上料板等。 1.6 子系统、零部件和间接耗材 为设备和系统制造提供子系统、零部件、间接材料及相关服务的厂商，包括质量流量 控制、分流系统、石英、石墨和炭化硅等。 2 对电子气体和化学品输送系统行业的详细研究 电子气体和化学品输送系统涉及上游的电子气体产品提供商，半导体行业用阀门管件提 供商，常规阀门管件提供商，气体供应设备提供商，气体输送系统设计、施工单位以及下 游的后处理设备厂商。 2.1 电子气体 1 / 3 电子气体在半导体器件的生产过程中起着非常重要的作用，几乎每一步、每一个生产 环节都离不开电子气体，并且电子气体的质量在很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。 电子气体的纯度是一个非常重要的指标，其纯度每提高一个数量级 , 都会极大地推动 半导体器件质的飞跃。同时，电子气体纯度也是区分气体厂商技术水平和生产能力的一个 重要考量指标。 目前主要的气体产品公司多为欧美公司在中国的分公司，主要有法国液化空气公司，美国 普莱克斯，德国林德公司，美国空气产品公司等。国内的品牌有苏州金宏气体，广东华特 气体等。 2.2 半导体阀门管件 半导体阀门管件是气体输送系统和设备中重要的原材料，阀门管件的性能和质量水平 也直接影响着气体输送系统的送气能力和运行稳定性，也会影响半导体产品的质量和性能。 严重的情况下，一个阀门出现质量问题可能造成严重的生产事故。 半导体阀门管件的重要性也体现在其成本上，目前阀门管件等原材料的成本占据了气 体输送系统和设备的大部分成本，但是，目前绝大部分供应要依赖进口品牌，并且是供不 应求（货期较长） ，这造成了目前系统和设备厂商的运营成本居高不下。 此领域知名的厂商有 APTECH,TESCOM,PARKER,SWAGELOK,KITZ，Valex 等，但都为进口 品牌，价格贵，交货期长（目前一般要 2 个月以上）。国产品牌目前主要的问题是半导体 阀门管件产品种类少，并且产品并不成熟。通过和杰瑞，赛洛克等厂商的交流，了解到目 前这些国内厂家公司规模多在一百人左右，新产品的研发能力和研发投入都十分有限，很 难在短期内保质保量的供应市场上需求的半导体阀门管件。这也预示着电子气体输送系统 和设备厂商在很长一段时间内还是要依赖进口品牌提供相应的材料，这种现状就要求系统 和设备厂商有更好的成本和交货周期的管控能力，甚至在承接项目时做好提高其成本预算 和延长交货期的准备。 2.3 电子气体和化学品输送系统和设备 从展会上了解到的基本的情况是，在这个细分的行业的主要的厂商有以下几类： 1）电子工程设计和施工单位，如 xx 设计院，中电 xx 公司，这类公司可以提供电子厂房 及厂务系统的多种设备，其技术能力和竞争力都很强。 2 ）专门的气体和化学品输送系统和设备厂商，如上