半导体设备行业系列研究和分析报告：存储器扩产，国产设备.pdf

[Table_Page] 行业专题研究|机械设备 2020 年2 月18 日 证券研究报告 [Table_Title] 半导体设备行业系列研究十 存储器扩产浪潮已至，国产设备千帆竞发 [Tabl e_Author] [Table_Summary] 核心观点：  国内存储器投资： 2020 年有增速向上拐点, 中长期具备巨大潜力。当前中国存储器产业面临历史性机遇，促 使国内存储器厂商积极进行工艺研发与产能建设，长期性与规模性的下游投资将对国产装备创造极佳的成长环 境。其中长江存储与合肥长鑫都将在 2020 年进入积极的产能爬坡期，预期将促使设备需求大幅增长。根据集 邦咨询数据，19 年Q4 长江存储产能2 万片/月（12 英寸），2020 年底有望扩产至7 万片/月；合肥长鑫目前产 能已达到2 万片/月，预计2020 年第一季度末达到4 万片/月。我们测算2020-2022 年本土存储器厂设备投资 分别为291.9 亿元/519.7 亿元/860.4 亿元，分别同比增长231%/78%/66%。  本土存储器厂国产化逻辑清晰，助力国产装备加速发展。由于对成本更加敏感，以及采用IDM 模式、设备自主 权更高，预期本土存储器厂更加积极的引入国产装备。根据中国招标网，截止 2020 年2 月长江存储主要设备 国产化率总体为7.1%，其中2020 年前两个月国产装备中标比例达到14.3%，提升显著。后续随着后期国产装 备逐步验证通过，以及晶圆厂工艺顺利进展、逐步提升产能，国产化率有较大提升空间。根据测算，如果2021 年国产化率达到15%~20%，本土存储器厂的国产装备市场将达到78.0 亿元~103.9 亿元，有望突破百亿空间。  关注存储器发展对半导体设备需求趋势影响。（1 ）刻蚀设备。趋势一，先进制程与存储技术推动刻蚀设备投资 占比提升；趋势二，3D NAND 要求刻蚀技术实现更高的深宽比；趋势三，刻蚀精度要求提升，推动 ICP 刻蚀 设备占比提升。（2 ）测试设备。国内存储器厂建设，将直接推动存储器测试设备快速增长。根据爱德万公司预 测，预计2020 年全球存储器测试设备市场空间8 亿美元，同比增长23.1%。（3 ）过程工艺控制。高深宽比存 储结构带来的良率控制难题。根据 Gartner，2018 年全球半导体过程工艺控制设备市场空间 58 亿美元，其中 缺陷检测、测量设备市场分别为34 亿美元、22 亿美元。（4 ）清洗设备。清洗步骤不断增加，清洗更具挑战性 与关键性。在20nm 及以上领域，清洗步骤数量占到所有工艺步骤数量的30%，最多可重复200 次。  投资建议：国内存储器厂的积极投资，将助力国产装备加速发展。建议关注国内从事半导体设备优质厂商：北 方华创（电子小组覆盖）、中微公司*、精测电子*、至纯科技、芯源微*、盛美半导体（ACMR.O ）、长川科技*、 华兴源创*、晶盛机电*。（标*表示与广发电子、电新等小组联合覆盖）  风险提示：行业投资波动带来的收入不确定性；行业竞争加剧导致毛利率下滑；技术研发及国产化趋势推进不 及预期；国家产业扶持政策变化或扶持力度不及预期。 识别风险，发现价值 本报告联系人： [Table_C ontacter] 1 / 27 [Table_PageText]