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浅述Ｘ射线荧光光谱仪的应用 　　摘　要　主要介绍了波长色散X射线荧光光谱分析的原理及其应用。 　　关键词　X射线荧光，探测器，二次激发 　　 　　1引言 　　 　　X荧光分析是一种快速、无损、多元素同时测定的分析技术，已广泛应用于材料、冶金、地质、生物医学、环境监测、天体物理、文物考古、刑事侦察、工业生产等诸多领域，可为相关生产企业提供一种可行的、低成本的、及时的检测、筛选和控制有害元素含量的有效途径。 　　 　　2 波长色散X荧光分析简介 　　 　　2.1 基本原理 　　以一定能量的光子、电子、原子、α粒子或其它离子轰击样品，将物质原子中的内壳层电子击出，产生电子空位，使原子处于激发态；外壳层电子向内壳层跃迁，填补内壳层电子空位，同时释放出跃迁能量，原子回到基态，跃迁能量以特征X射线形式释放或转移给另一个轨道电子，使该电子发射出来，形成俄歇电子。通过探测器测出特征X射线，即可确定所测样品中元素的种类和含量，其基本结构原理如1所示。 　　 　　　　　　　图1　X荧光光谱仪基本结构原理 　　 　　当原子中K层电子被击出后，L层或M层的电子填补K层电子空位，同时以一定几率发射特征X射线。L-K产生的X射线叫Kα系，L层有3个子壳层，允许跃迁使Kα系有2条谱线Kα1和Kα2；M-K产生的X射线叫Kβ系，M层有5个子壳层，允许跃迁使Kβ系有3条谱线Kβ1，Kβ2，Kβ3 。当原子中L层电子被击出后，M-L跃迁产生的X射线叫L系。特征X射线的能量为两壳层电子结合能之差，即： 　　KKa= BK－BL 　　KKβ= BK－BM 　　KL = BL－BM 　　所有元素的K、L系特征X射线能量的数量级为103～104eV。 　　 　　2.2 X射线激发方式 　　X荧光分析中激发X射线的方式一般为： 　　（1） 用质子、α粒子等离子激发； 　　（2） 用电子激发； 　　（3） 用X射线或低能γ射线激发。 　　用质子激发特征X射线的分析技术(常记为PIXE)在几种激发方式中分析灵敏度最高，相对灵敏度达10-6～10-7g／g，绝对灵敏度可达10-9～10-16g，而且可将质子聚焦、扫描，并对样品作微区分析。 　　用电子激发(常记为EIX)，目前主要用在扫描电镜中。与PIXE相比，电子激发引起的轫致辐射本底比质子激发大，故分析灵敏度一般比PIXE低2～3个数量级。另外这种激发方式不能在空气中进行，只适用于薄样品。 　　用X射线或低能γ射线激发(记为XIX)，常用X光管、放射性同位素作为激发源。这类激发用射线不能聚焦；分析灵敏度亦稍低，相对灵敏度一般为10-5～10-6g／g，绝对灵敏度约为10-7～10-8g，低于PIXE的灵敏度。 　　2.3 测量仪器 　　测量特征X射线常用Si(Li)探测器，它的能量分辨率高，适用于多元素同时分析，也可选用Ge(Li)或高纯Ge探测器，但价格昂贵。在X荧光分析中，对于轻元素(一般指Z＜45的元素)通常测其KX射线；对于重元素(Z＞45的元素)，因其KX射线能量较高且比LX射线强度弱，常测其LX射线，这样测量的特征X射线能量一般在20keV以下。正比计数管在此能量范围，探测效率较高，其能量分辨率虽比Si(Li)探测器差，但远好于NaI(Tl)闪烁探测器；质量好的正比计数管在5.89keV处分辨率优于15%。 　　 　　2.4 应用领域 　　X荧光分析技术应用领域有： 　　（1） 用于陶瓷材料及色釉料中各元素的分析检测； 　　（2） 用于水泥产品原料、渣块元素成分的检测； 　　（3） 钢中碳、锰含量分析； 　　（4） 检测石化产品中的硫元素，监控作为生产效率指标的Fe，Na，Sb及K元素；分析石油焦、废油里的S， Ni，Cl和V含量； 　　（5） 监控润滑油里的添加剂和稳定剂； 　　（6） 分析大气中浮游尘、气溶胶、水源污染情况及食品中含有的有害金属等； 　　（7） 分析血样、头发、牙齿、淋巴细胞、活性酶中微量元素与人体健康、疾病的相关性； 　　（8） 无损分析古玩文物组分：辨别真伪，确定其年份； 　　（9） 分析飞船带回的月岩、陨石等成分； 　　（10） 测定地下水样中砷浓度，依据金矿与砷同时存在的特征找出金矿； 　　（11） 分析土壤中微量元素，确定作物种植的适宜性。 　　除以上应用例子外，X荧光技术还可用于半导体中微量杂质的测定、表面污染的监控等，而且其应用面还在不断拓展。 　　 　　3检测样品的处理和制备 　　 　　3.1 样品预加工 　　分析样品数量少至几毫克，多则几千克甚至更多，必须进行预加工。样品加工一般包括研磨、缩水、干燥和保存等步骤，如图2所示。研磨的作用是消除或改善样品不均匀性对分析结果的影响。