曝光工序工艺规程.docxVIP

修订 日期 修订 单号 修订内容摘要 页次 版次 修订 审核 批准 2011/03/30 / 系统文件新制定 4 A/0 / / / 批准： 审核： 编制： 1目的 将所需的印制线路图像通过光致抗蚀干膜转移到基材 2范围 制造部曝光工序全体员工 3职责 曝光工序人员负责生产 4材料、设备和工具 4.1材料： 重氮片（见生产流转单重氮片号）、玻璃活洁剂、半成品基材、菲林活洁剂、无尘纸 /透 明胶带/粘尘纸/洁净纸 4.2设备、工具： UVE-M50（B光机、21级曝光密度尺（注：曝光尺上附加的号码表示质保部的检定标号. 曝光尺使用有效期为一年）、放大镜10X,30X胶带刀盒、粘尘滚轮、手套、超净工作服、吸 尘器 5相关文件 5.1 JCD — QO 22《曝光机操作规程》 6工艺规程 6.1准备 6.1.1根据生产流转单领取重氮片并检查是否有短路、划痕、皱折现象或其它损坏，如需要 修整，则与工程部联系，检查重氮片标号与流转单零件号是否一致。 6.1.2用无尘纸蘸少许菲林活洁剂轻轻擦试重氮片的光面。 用除尘滚轴活洁重氮片的两面，打 开真空框架，用无尘纸蘸少量玻璃活洁剂或除尘滚轴活洗玻璃表面，聚脂膜面，保 证其表面无手指印和尘、渣、屑。 6.1.3按曝光机操作规程析开机器电源和冷凝器开关，并根据曝光对象选择打开所需的灯， 如对单面板仅用上灯。在开始曝光前至少使灯预热 2分钟。 6.1.4选择曝光能量组并检查灯的能量设置值，通过首板检查决定能量值。 6.1.5已贴膜板，放置15分钟，方可进行对位曝光。 6.1.6按生产流转单上的批号，标识当班次生产底片。 6.2运行 6.2.1单面板曝光 6.2.1.1用粘尘滚轮将光桌台面、曝光台面、生产底片、待对板的半成品件的尘埃去除干净。 6.2.1.2将已贴膜的板子放在光桌台面上，膜面朝上，检查表面有无干膜残片，如有则用无尘 纸擦除，再放上重氮片，药面朝下，即干膜接触药面。 6.2.1.3用10X放大镜检查对位是否精确，确认后再用胶带将重氮片贴膜板粘起来。 6.2.1.4打开曝光的真穿框架将板子放在玻璃台面中央，首件和每间隔一定数量的板，在板上 零件处放上21级曝光尺，并在板子四角各放一释放条至玻璃台的角部，再放下真 空框架。 6.2.2双面板曝光 6.2.2.1用粘尘滚轮将工作台面、生产底片、待对板的半成品件的尘埃去除干净。 6.2.2.2将已贴膜的板子放在两张底片之间，先对准一面并用双面胶带把重氮片和贴膜粘在 一起，再反过来，对准另一面，方法同上，必须用放大镜检查对位准确度。 6.2.2.3打开曝光的真穿框架将板子放在玻璃台面中央，首件和每间隔一定数量的板，在板上 零件处放上21级曝光尺，并在板子四角各放一释放条至玻璃台的角部，再放下真空框架。 6.2.3关上真空框架，按部就班“真空”按钮，并用滚轮或无尘纸依序在板面上抹平，再用放 大镜在板子四角检查一下，以防发生对位偏移，抽真空一般压力为 70-76cmHg 6.2.4按“驱动”开关，开始曝光，曝光完成后按“驱动”开关，进行台面切换。 6.2.5重复上述步骤，可为其它覆膜板子曝光。 6.3自检 6.3.1工艺规程、操作规程。 6.3.2检查生产底片有无缺陷。 6.3.3用10X放大镜，按《工序质量控制标准》检查对板质量。 6.3.4按《工序检验规程》检查曝光量和断线、针孔、缺口等缺陷。 6.3.5经常访问显影、蚀刻后出现曝光引起的缺陷。 6.3.6自检率：a.对板100% b. 曝光量每批1-2次 6.4注意事项 6.4.1首板曝光要用21级曝光密度尺检测曝光能量，膜保护处盖着：21级曝光尺的5-8格, 如未达到请与工程部联系。 6.4.2曝光后放置5分钟，用托盘从传递窗口转运下道工序。 6.4.3填好生产记录，生产流转单。 6.4.4工作完毕,进行底片活理、检查、防护保存。 6.4.5曝光时勿直视光机，以防紫外光损伤眼睛。 7相关记录表格 7.1生产工序操作记录表 生产工序操作记录 表式编号: 表式序号: 流 转 单 号 兀 工 数 量 质量状况 起 始 时 问 设 备 状 态 日 期 厂 品 代 号 材 料 指 令 数 首 检 合 格 数 不 合 格 数 检 验 者 操 作 者 数 记 录 7.2首件送检记录表 首件送检记录表 产品代号 流转单号 送检人 送检时间 检验人员 检验结果 判定 检验完毕 时间 注：1、每个料号首次量产前必须送检并合格后方可量产; 2 、每生产60PN或须重做首检供产品检抽检 7.3温湿度记录表 、、日期 时段、、 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 温 度 湿 度 温. 度 湿 度 温. 度 湿 度 温. 度 湿 度 温. 度 湿 度 温. 度 湿 度 温 度 湿 度