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4金属薄膜电阻率地丈量 4金属薄膜电阻率地丈量 4金属薄膜电阻率地丈量 适用标准文档 金属薄膜电阻率的丈量 一． 实验目的 熟习四探针法丈量电阻率和薄层电阻的原理及丈量方法。 认识影响电阻率的丈量的各样要素及改良举措。 二． 实验仪器 RTS-5 型双电测四探针测试仪 三． 实验原理 双电测组合四探针法采纳了以下二种组合的丈量模式（见图 1） 将直线四探针垂直压在被测样品表面上分别进行 I14V23 和 I13V24 组合丈量，丈量过程以下： 进行 I14V23组合丈量： 电流Ｉ从１针→４针，从２、３针测得电压 V23+； 电流换向，Ｉ从４针→１针，从２、３针测得电压 V23-；计算正反向丈量均匀值： V23＝(V23+＋V23-) ／2； 进行 I13V24组合丈量： 电流Ｉ从１针→３针，从２、４针测得电压 V24+； 文案大全 适用标准文档 流 向，Ｉ从３ →１ ，从２、４ 得 V24-； 算正反向 量均匀 ： V24＝(V24+＋V24-) ／2； 算（ V23／V24） ； （以上 V23、V24均以 mV 位） 按以下两公式 算几何修正因子Ｋ： 若1.18 ＜（ V23／V24）≤ 1.38 ； K＝－ 14.696 ＋25.173(V23 ／V24)－7.872(V23 ／V24)2；? (1) 若1.10 ≤（ V23／V24）≤ 1.18 ； K＝－ 15.85 ＋ 26.15(V23 ／V24)－7.872(V23 ／V24)2；? (2) 算方 阻 R□： Ｒ□＝Ｋ· (V23／Ｉ ) ( 位：Ω／□ ) ；? (3) 此中：Ｉ 流， 位： mA； V23 从２、３ 得 V23+和V23-的均匀 ， 位： mV； 若已知 品厚度 W，可按下式 算 品体 阻率ρ：ρ＝ R□· W·F(W/S)／10 ( 位：Ω .cm) ；? (4) 此中：Ｒ□ 方 阻 ， 位：Ω／□； W 片厚度， 位： mm（W ≤3mm）； S 探 均匀 距， 位： mm； F(W/S) 厚度修正系数； 算百分 化率（以 品 阻率ρ 例）： 文案大全 适用标准文档 ρM －ρ m 最大百分 化（％）＝─────× 100％? (5) m │ρ a －ρ c │ 均匀百分 化（％）＝─────────× 100％? (6) c ２（ρ M －ρ m ） 径向不均匀度Ｅ（％）＝──────────× 100％? (7) ρM ＋ρ m 以上式中：ρ M 、ρ m 分 量的 阻率最大 与最小 ， 位： .cm； ρc 第 1、2 点（即 片中心 量点） 量均匀 ， 位：Ω .cm； ρa 除第 1、2 点外其他各点的 量均匀 ， 位：Ω .cm； （若 量 品的方 阻 , 将 (5) 、(6) 、(7) 式中的ρ M 、ρ m 、 a 、ρc 分 改成Ｒ M 、Ｒm 、Ｒa 、和Ｒ c 。其公式意 与ρ M 、 m 、ρ a 、ρ c 相像）。 四． 步 将主机、探 台、四探 探 、 算机 接，开启主机，启RTS-5双 四探 件 系 搁置 品于 台，操作探 台 下探 ，使 品接通 流 品要 行的 ，及 入有关 基本参数 文案大全 适用标准文档 履行【丈量】功能→按弹出提示窗口调理主机电位器使主机电流显示为此值→按【确立】按钮持续丈量 履行【自动丈量】 功能→按弹出提示窗口调理主机电位器使主机电流显示为 45.32 μA→按【确立】按钮持续丈量 【及时采集两次组合模式下的电压值】窗口及时显示两次组合模式下电压的正反向、均匀值； 【统计测试数据】窗口显示样品测试点的丈量数据 对丈量数据进行打印、保留、生成 EXCEL文件 响电阻率丈量的各样要素及改良举措 1、环境温湿度 一般资料的电阻值会随环境温度及湿度的高升而减小。所以对比较而言，表面 电阻 ( 率 ) 对环境湿度比较敏感， 而体电阻 ( 率 ) 则对温度较为敏感。 湿度增添，表面泄露增大，体电导电流也会增添。 温度高升， 载流子的运动速率加速， 介质资料的汲取电流和电导电流 会相应增添，占有关资料报导，一般介质在 70C 时的电阻值仅有 20C时的 10％。所以，丈量资料的电阻时，一定指明试样与环境达到均衡的温湿度。 2、测试电压及电场强度 介质资料的电阻 ( 率 ) 值一般不可以在很宽的电压范围内保持不变，即欧姆定律对此其实不合用。常温条件下，在较低的电压范围内，电导电流随外加电压的增添而线性增添， 资料的电阻值保持不变。 超出必定电压后， 因为离子化运动加剧， 电导电流的增添远比测试电压增添的快， 资料体现的电阻值快速降低。 因而可知， 外加测试电压越高，资料的电阻