《传感器与检测技术项目教程》 教学课件 模块七.ppt

学习单元二 湿度传感器 氯化锂浓度不同的湿度传感器，适用于不同的相对湿度范围。浓度低的氯化锂湿度传感器对高湿度敏感，浓度高的氯化锂湿度传感器对低湿度敏感。一般单片湿度传感器的敏感范围仅在30%RH左右，为了扩大湿度测量的线性范围，可以将多个氯化锂含量不同的湿度传感器组合使用，如将(10%～20%)RH、(20%～40%)RH、(40%～70%)RH、(70%～90%)RH、(90%～99%)RH的五种元件配合使用，可以实现整个湿度范围的湿度测量。 学习单元二 湿度传感器 氯化锂湿敏元件的优点是滞后小，不受测试环境风速的影响，检测精度一般可达到±5%。但是单片氯化锂湿度传感器测湿范围窄，而多片组合体积大，成本高，不抗污染，怕结露，耐热性差，难于在高湿和低湿的环境中使用，工作温度不高，寿命短，响应时间较慢，必须使用交流电源，以避免出现极化。 学习单元二 湿度传感器 氯化锂湿度传感器具有稳定性、耐温性和使用寿命长等多项重要的优点。氯化锂湿敏元件属于电解质感湿性材料，是利用电解质溶解于水中降低水面上的水蒸气压的原理而实现感湿的。氯化锂湿度传感器特有的长期稳定性是其他感湿材料不可替代的，也是湿度传感器最重要的性能。感湿混合液的配制和工艺上的严格控制是保持和发挥这一特性的关键。 学习单元二 湿度传感器 半导体陶瓷湿度传感器 2. 随着科学技术的发展，要求在高温下测量湿度的场合越来越多，如水泥、金属冶炼、食品加工等涉及工艺条件和质量控制的许多工业过程的湿度测量与控制。自20世纪60年代起，许多国家开始竞相研制适用于高温条件下测量的湿度传感器。考虑到传感器的使用条件，人们很自然地把探索方向着眼于既具有吸水性又能耐高温的某些无机物上。实践已经证明，陶瓷元件不仅具有湿敏特性，而且可以作为感温元件和气敏元件，这些特性使它极有可能成为一种有发展前途的多功能传感器。 学习单元二 湿度传感器 半导体陶瓷湿敏电阻是一种电阻型传感器，根据微粒堆集体或多孔状陶瓷体的感湿材料吸附水分可使电导率改变这一原理检测湿度。由于它具有使用寿命长、可在恶劣条件下工作、响应时间短、测量精度高、测温范围宽（常温湿度传感器的工作温度在150 ℃以下，高温湿度传感器的工作温度可达800 ℃）、工艺简单、成本低廉等优点，是目前应用较为广泛的湿度传感器。 半导体陶瓷湿敏电阻按其结构可以分为烧结型、涂覆膜型和薄膜型三类。 学习单元二 湿度传感器 （1）烧结型半导体陶瓷湿敏电阻。烧结型半导体陶瓷湿敏电阻的结构如图7-24所示。 图7-24 烧结型半导体陶瓷湿敏电阻的结构 学习单元二 湿度传感器 其感湿体为MgCr2O4-TiO2多孔陶瓷，气孔率达30%~40%。MgCr2O4属于P型半导体，其特点是感湿灵敏度适中、电阻率低、阻值温度特性好。为改善烧结特性和提高元件的机械强度及抗热骤变特性，在原料中添加了TiO2，这样在1 300 ℃的空气中可烧结成相当理想的陶瓷体。材料烧结成型后，切割成所需薄片，在薄片的两面印刷并烧结叉指型氧化钌电极，就制成感湿体。由于500 ℃左右的高温短期加热可去除油、有机物和尘埃等污染，因此在这种湿敏元件的感湿体外往往罩上一层加热丝，以便对器件经常进行加热清洗，排除恶劣环境对器件的污染。器件安装在一种高致密、疏水性的陶瓷片底板上。 学习单元二 湿度传感器 （2）涂覆膜型半导体陶瓷湿敏电阻。此类湿敏元件是把感湿粉料（金属氧化物）调浆，涂覆在已制好的梳状电极或平行电极的滑石瓷、氧化铝或玻璃等基板上，经低温烘干后制成的。Fe3O4、V2O5及Al2O3等湿敏元件均属此类，涂覆膜型半导体陶瓷湿敏元件有多种，其中比较典型且性能较好的是Fe3O4湿敏元件。 学习单元二 湿度传感器 （3）薄膜型半导体陶瓷湿敏电阻。由于多孔的Al2O3薄膜易于吸收空气中的水蒸气，从而改变其自身的介电常数，利用Al2O3做电介质构成的电容器的电容值就会随着空气中的水蒸气分压变化而变化，从而可以测量出空气的相对湿度。 目前，以铝为基础的湿敏元件在有腐蚀剂和氧化剂的环境中使用时，都不能保证长期稳定性；但以钽作为基片，利用阳极氧化法形成的氧化钽多孔薄膜是一种介电常数高、电特性和化学特性较稳定的薄膜，以此薄膜制成电容式湿敏元件可以大大提高元件的长期稳定性。 学习单元二 湿度传感器 高分子湿度传感器 3. 随着高分子化学和有机合成技术的发展，用高分子材料制作化学感湿膜的湿敏元件的方法日益得到发展和应用，并已成为目前湿敏元件中的一个重要分支。有机纤维素具有吸湿溶胀、脱湿收缩特性，利用此特性，将导电的微粒或离子掺入作为导电材料，就可将其体积随湿度的变化转换为感湿材料电阻的变化，从而完成对环境湿度的测量。 学习单元二 湿度传感器 图7-25所示为高分子聚合物湿度传感器的结构图 图7-2