第5章微电子概论基本IC单元版图设计.pptVIP

紧凑型版图： “尽量将器件设计成矩形。” 为何将p型器件全放在一个共用的n阱里？ 因为：1) 设计规则规定n阱之间的间距远大于晶体管之间的间距。 2) 共用n阱技术可以减小电路面积。 同样，n型器件也被放置在共用的区域，或是p阱，或是p型衬底。 基本IC单元版图设计 – CMOS layout 第六十二页，共八十七页。 金属电容器： - 大多数用于信号传输的电容器都由金属制备而成。这样就消除了寄生pn结，从而消除了寄生二极管的固有电容，同样，对电压的依赖性也消除了。 - 由于上下层金属间隔较远，所以为了得到与扩散电容器相同的电容值，需要制备的金属极板面积将大大增加。所以相同容值的金属-金属电容器比扩散电容器占用的面积多得多。然而，为了得到一个性能优越的信号传输电容，必须承受这种牺牲。 基本IC单元版图设计 – 电容 在电路设计中，有时需要隔断DC电压而仅让AC信号进入到下一个电路模块。在这种情况下，一个随其两端电压变化而改变电容值的电容器是根本不能使用的。 第三十页，共八十七页。 基本IC单元版图设计 – 电容 M1 M2 M3 M4 叠层金属电容器 M1 M2 氮化物介质电容器 介质(氮化物) - 为了减少所占面积，可以采用“叠层金属电容器”： 多层金属平板垂直地堆叠在一起，将奇数层和偶数层的金属分别连在一起，形成两个梳状结构的交叉，通过正确交叉连接金属，可以在单位芯片面积上获得更大电容。 - 可以采用具有较高介电常数且易于用CVD（化学气相沉积）方法制备的材料“氮化硅”来用作金属-金属之间的电介质。不过需要额外的掩模板和工艺步骤。 第三十一页，共八十七页。 基本电感： - “右手定则”，又称“Hitchhiker定律”。 - 如果导线上有电流，那么它产生的磁场会使附近导线产生电流，即第二根导线会感应出电流，这称为“电感”。 - 磁场不仅会与周围的ic器件相互作用，而且对导线本身的电流产生影响，这种现象称为“自感”。 - 稳定的直流电流会产生静止的磁场。静止的磁场对其他导体虽然有影响，但不会在这些导体中产生电流。 基本IC单元版图设计 – 电感 第三十二页，共八十七页。 基本IC单元版图设计 – 电感 - 电容上电压频率增加时，其传导电流的能力加强，电感的特性与之不同。电感上电压频率增加时，变化的磁场会感应出电压与电流，并与原来的电压电流方向相反，这样原来的电压电流就会被抵消掉一部分。频率越高，此效应越严重，流过电感的电流就越小。 “电容对高频来说是通路，电感阻碍高频信号通过。” - 电感主要用于高频电路中，或作为匹配电路，或作为射频扼流圈。也可用电感制作片上变压器。 第三十三页，共八十七页。 导线特征化 导线的寄生电容、寄生电感与寄生电阻会对高频信号产生显著的影响。 对导线进行特征化（线宽、线距、边缘特征），并调整电路以补偿这种损耗。这些被特征化的导线称为“传输线”。 寄生现象，像狗身上的跳蚤 对导线进行特征提取 对导线进行特征提取，根据提取的特征设计补偿电路 第三十四页，共八十七页。 拐角特征化 破坏特征化传输线的性能 第三十五页，共八十七页。 螺旋电感： - 螺旋电感，字面上是将导线绕成螺旋形状。 - 螺旋电感不仅节省空间，还有另一好处，就是螺旋线每一圈形成的磁场会与其他圈产生的磁场相互作用，使总的电感比相同长度的导线产生的电感量大，称为互感。 - 螺旋电感金属层性质对器件性能有严重影响。电感的金属层很薄，就会有寄生电阻，金属的电阻特性会影响电感的Q值。 基本IC单元版图设计 – 电感 第三十六页，共八十七页。 基本IC单元版图设计 – 电感 电感品质因子： - 寄生电阻、电容会对电感性能有不利的影响。低频和高频时，串联电阻和电容分别会使电感偏离理想的频率响应。 Q值为40的电感性能较优 - 寄生效应很小； Q值为5的电感性能较劣 - 寄生效应很大。 - 提高Q值： 1）减少螺旋线的串联电阻。厚的、电阻率低的金属制作螺旋电感。 2）宽的金属线也可以提高Q值，但寄生电容增加。 第三十七页，共八十七页。 基本IC单元版图设计 – 电感 螺旋电感 M1 M2 第三十八页，共八十七页。 叠层电感： 从一层金属电感的中心连到另一层金属电感上。 最好使用螺旋电感，而非叠层电感。建模困难 临近效应：