光学零件工艺学课件.pptVIP

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塌边 条纹边缘部位塌向加压点A。 翘边 条纹边缘部位翘离加压点A, 图 一侧加压法判断塌边 图一侧加压法判断翘边 (a)低光圈塌边 (b)高光圈塌边 (a)低光圈翘边; (b)高光圈翘边。 第三十一页,共八十页。 光圈的度量 光学零件的面形偏差是用光圈数表示的。光圈的度量包括下列三项面形偏差。 N——被检光学表面的曲率半径相对于参考光学表面曲率半径的偏差称半径偏差。此偏差所对应的光圈数用N表示‘ ——被检光学表面与参考光学表面在两个相互垂直方向上产生的光圈数不等所对应的偏差称象散偏差,此偏差所对应的光圈数用表示。 ——被检光学表面与参考光学表面在任一方向上产生的干涉条纹的局部不规则程度称局部偏差,此偏差所对应的光圈数用表示。 如果要求允许的最大象散光圈和局部光圈数相同时,可用同时表示两者的偏差。 第三十二页,共八十页。 光圈的度量 ★光圈的度量 光圈数的计算 规定 低光圈为负,高光圈为正。 当光圈数N≥1时 光圈数是有效检验范围内直径方向最多条纹数的一半。 N≥1的光圈数 第三十三页,共八十页。 光圈的度量 当光圈数N<1时,光圈数用条纹弦高h与对应的相邻两条纹间距H之比。 当用小样板检验大零件时,如果被检零件所要求的光圈为N1,那么在用样板检验时应有的光圈数N2应为 S1为被检零件的面积 S2为样板的面积 第三十四页,共八十页。 光圈的度量 1、光圈数量的计算 ① N≥1的计算 在被检光学表面和参考光学表面仅有曲率半径偏差情况下,光圈数度量与表示偏差大小和方向的误差曲线,其中,虚线代表参考光学表面,曲线代表球面(或平面)相对于参考光学表面的偏差大小和方向,平行线间距离代表λ/2。 光圈数N的度量 (a)N=3; (b)N=2; (c)N=2; (d)N=1. 第三十五页,共八十页。 a)单色光照明时,产生明暗相间的干涉条纹,其条纹数目就是光圈数N。由于1道光圈所对应的空气层厚度为,故采用不同波长的单色光光源,每道圈所表示的具体误差数值也不同。 b、白光照射时,产生彩色条纹。彩色条纹数目就是光圈N。因红色鲜明,波段宽,为便于观察,通常以红色为计算光圈的标准颜色, c、按暗条纹计算光圈数时,由于半波损失多算了半道圈 第三十六页,共八十页。 ② N<1的计算 a)对平面或大曲率半径球面零件 当零件表面是理想平面或球面时,干涉条纹往往是弯曲成一定程度的不完整圆的光圈,称为弧形光带,此时根据弯曲的程度来判断光圈数。通常以通过直径方向上干涉条纹的弯曲量h相对于条纹间距H的比值来N度量。 第三十七页,共八十页。 b)较小曲率半径球面零件 对于较小曲率半径球面零件,当N<1时,一般是根据(光斑大小)颜色来估算的。当用白光照明时,首先根据颜色与空气层厚度的对应关系,计算出中心与边缘处空气层厚度差并判断光圈的正负;然后再用平均波长换算成光圈数。 ③ 用小样板检验大零件时,光圈的计算 第三十八页,共八十页。 局部误差的计算 ⑴ 中心局部偏差(中心高/中心低) 图 中心局部误差 (a)低光圈中心低;(b)低光圈中心高 第三十九页,共八十页。 ⑵ 边缘局部偏差 (指塌边和翘边(勾边),即边缘多磨或少磨) 按高低光圈也分为四种:高光圈(塌边/翘边),低光圈(塌边/翘边)。 塌边(低光圈塌边c,高光圈塌边b)翘边(低光圈翘边a,高光圈翘边d 图 边缘局部误差 (a)低光圈翘边 (b)低光圈塌边 第四十页,共八十页。 ⑶ 中心及边缘均有局部偏差 它是以上两种偏差都具有的情况,识别方法相同,可以根据具体情况进行判断。下面例举加工中常遇到的两种情况: 图 中心及边缘均有局部偏差 (a)低光圈、中心高、塌边;(b)低光圈、中心低、塌边 第四十一页,共八十页。 像散偏差的度量 像散偏差的度量 像散偏差光圈数Δ1N是以两个相互垂直方向上光圈数N的最大代数差的绝对值来度量的。像散偏差有以下几种形式 椭圆形像散光圈数 马鞍形像散光圈数 柱形像散光圈数 N<1的像散光圈数 马鞍光圈 柱形光圈 第四十二页,共八十页。 局部偏差的度量(1) 局部偏差的度量 局部偏差光圈数Δ2N是以局部不规则干涉条纹对理想平滑干涉条纹的偏离量e与两相邻条纹间距的比。即Δ2N=e/H 中心局部偏差 它包括低光圈(高光圈)的中心高和中心低四种情况。 边缘局部偏差 它包括高(低)光圈的翘边和

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