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基于频率和阻尼匹配的微机械陀螺阻尼特性分析 由微机械技术制成的柔性设备比传统设备具有更多的空间、成本和耗动率。 目前大多数的微机械陀螺都工作真空条件下, 但由于真空封装会极大地增加成本, 同时降低陀螺的工作可靠性, 所以在常压下工作的微机械陀螺也越来越受到人们的重视 1 驱动内框检测方式 图1是一种已经设计的微机械振动式陀螺的结构示意图, 该陀螺是采用外框驱动内框检测的方式.工作时在驱动固定梳齿a上施加电压V 微机械振动式陀螺在X和Y方向的运动可以分别简化为质量-弹簧-阻尼的二阶系统, 图2是它的简化模型表示, 在X和Y方向分别列出数学方程: 式中, X和Y, M 2 阻尼分析的对比 本文提出的微机械陀螺空气阻尼主要是活动梳齿与固定梳齿之间的阻尼, 而质量块和框架相对衬底之间的阻尼相比梳齿之间的阻尼小的多, 所以在分析时只考虑梳齿之间的阻尼. 2.1 滑膜阻尼力系数的计算 驱动活动梳齿相对驱动固定梳齿之间的运动是平行的, 由于活动梳齿的运动带动梳齿间的气体流动, 而活动梳齿的运动则受到空气阻尼力的阻碍作用, 这样的空气阻尼称为滑膜阻尼. 滑膜阻尼力系数可用下式计算 式中μ:气体的粘滞系数, A:梳齿的相对面积, d 2.2 空气阻尼力系数的检测 图3所示为一对梳齿的示意图. 在驱动方向 (X) , 静电驱动力驱动框架在X方向谐振, 同时框架通过检测弹性梁带动质量块和检测活动电极也在X方向谐振.所以在驱动方向的空气阻尼主要有以下几部分构成:活动梳齿面A和固定梳齿之间的空气阻尼C 而活动梳齿面B相对于固定梳齿之间的运动是垂直的所以活动梳齿面和固定梳齿之间的空气阻尼力系数C 该微机械陀螺结构和玻璃衬底之间的间距为100μm, 所以结构和衬底之间的空气阻尼由于相比梳齿之间的阻尼小的多, 在分析的时候可以忽略不计.从而, 得到该微机械陀螺在X方向的阻尼力系数: 而在检测方向 (Y) , 由于弹性梁与框架的解耦作用, 主要的运动是由于科里奥利效应将惯性质量块X方向的振动耦合到Y方向, 惯性质量块的运动同时带动检测活动电极在Y方向振动.所以在检测方向主要的空气阻尼效应发生在检测活动电极与固定电极之间的, 检测活动电极相对固定电极之间的运动是垂直运动, 空气阻尼力系数C 由式 (8) C 3 驱动与检测方向品质因子的关系 利用数学工具MATLAB模拟了阻尼对所设计的微机械陀螺性能的影响.该微机械陀螺的主要结构参数, 质量M 图4是一组随检测方向品质因子变化的检测位移峰值的频率响应曲线.图中, 品质因子Q=Mω/C是与阻尼系数有关的一个量, M是质量, ω是该方向的谐振角频率, Q 图5是检测位移峰值随驱动与检测方向谐振频率差异的频率响应曲线, 图中, f 从图5中可以看出, 在f 图6是微机械陀螺的检测位移随X方向品质因子变化的曲线图 (驱动频率f 图7是工作在驱动方向处于谐振状态的微机械陀螺的检测位移随Y方向品质因子变化的曲线图 (驱动频率f 图8是检测位移随检测和驱动方向谐振频率差值的曲线图 (模拟参数:f 4 驱动方向品质因子 本论文的主要工作是, 对一种微机械陀螺在常压下工作的阻尼进行了分析和计算, 利用数学工具MAT LAB模拟了阻尼以及频率匹配特性对微机械陀螺灵敏度以及工作带宽等性能的影响, 得出了以下结论: (1) 为提高灵敏度, 微机械陀螺驱动谐振频率和检测谐振频率需尽量匹配, 同时在驱动方向应工作在谐振频率点附近; (2) 两个方向的阻尼匹配情况不但影响系统灵敏度, 同时也会影响系统工作带宽阻尼匹配度越好灵敏度越高工作带宽也越宽 (3) 陀螺灵敏度随X方向品质因子提高几乎线性增加, 而在X方向和Y方向的谐振频率不是完全匹配的情况下, 陀螺灵敏度只在一定范围内随Y方向品质因子提高而显著增加, 当Y方向品质因子超过了这个范围, 陀螺灵敏度增加不明显.因此, 在设计微机械陀螺时应优先考虑提高驱动方向品质因子; (4) 两个模态的谐振频率的匹配影响系统灵敏度和工作带宽, 频率越匹配灵敏度越高, 而带宽则越小.灵敏度和工作带宽是一对矛盾, 在设计时需要根据不同的工作状态匹配f