超薄切割砂轮厚度在线测量方法及误差分析.docxVIP

? ? 超薄切割砂轮厚度在线测量方法及误差分析 ? ? 牛瑞明，朱振伟，赵华东，郑艳萍 （1.郑州大学机械与动力工程学院，河南 郑州 450001；2.河南省智能制造研究院，河南 郑州 450000） 1 引言 在磨具磨料行业，厚度小于1mm的砂轮属于超薄切割砂轮，主要用于光学及电子行业精密元器件的切割加工［1］，这种砂轮厚度的尺寸精度一般要求控制在±2μm之内。目前我国已经能够生产出厚度为（0.1～1）mm的超薄砂轮片，在生产过程中，行业内均采用人工以千分尺为工具进行测量的方法［2］。由于测量人员的工作状态，以及不同测量人员的操作差异，造成测量结果的不确定度区间较大，影响砂轮产品的质量评判，误判率较高。同时，人工测量属于离线滞后测量，不利于实现自动化。并且人工测量结果与砂轮生产过程参数无法实时关联，难以及时对生产起到反馈和调节作用，不利于整个行业智能化升级改造。因此研究在砂轮制造生产线上厚度在线测量，实现生产结果和生产过程的数据关联，对提高砂轮生产过程的检测精度，促进行业的智能化升级有着重要意义。 2 超薄切割砂轮片厚度测量方法的研究及原理介绍 2.1 测量方法的研究 针对厚度检测方案国内外均有相关研究，目前国外的研究方向有聚焦离子束、超声反射等测量方式［3-4］；文献［3］研究了聚焦离子束测量厚度的方式，文献［4］研究了超声反射方式测量厚度的方式。当前国内的研究方向主要是采用激光传感器、基于光反射技术、机器视觉等非接触式的测量方式［5-7］。非接触式测量技术中的激光扫描传感器、机器视觉等新型视觉测量产品以及超声反射和光反射技术，理论上可以一次获得多个方向的曲面测量数据，满足多要素测量的要求，但是其测量精度无法满足一些精度要求较高的测量项目，其信息处理过程可能耗时较长［8］。根据样本测量结果，如图1所示。非接触式测量方法明显比接触式测量方法误差大，因此选用接触式位移测量方法。 图1 接触式和非接触式测量方法的对比Fig.1 Comparison of Contact and Non-Contact Measurement Methods 在确定接触式测量方式的基础上，单传感器测量与多传感器测量成为影响测量精度的主要原因。基于传感器检测方式的广泛应用，研究者们开发了多传感器测量系统，集成多个或多类传感器进行组合测量已经成为工业检测的重要发展趋势［9-10］。单一位移传感器虽然测量精度高、速度快，但测量基准要求太高，在测量复杂零件时需要大量的传感器配合实现［11-14］。单一传感器测量与对顶式传感器测量方法比较，如图2所示。单一传感器测量需要旋转台旋转时有较高的精度，并且测量时容易造成砂轮片表面划伤；而对顶式测量方式不需要旋转台有较高的精度，并且不会使砂轮片表面划伤，而且误差波动相对平稳，因此本设计方案采用位移传感器对顶的测量方式，间接的得到超薄切割砂轮片厚度的测量方式。 图2 单一传感器测量和对顶式测量数据对比Fig.2 Comparison of Single Sensor Measurement and Counter Top Measurement Data 2.2 厚度测量原理 本设计方案采用两个位移传感器对顶的测量方式，通过气压使得传感器测量头伸出，然后计算出超薄切割砂轮片厚度。首先固定两传感器的位置，两传感器测头伸出确定L0的长度；然后根据传感器的位置分别得到上传感器到达超薄切割砂轮片的距离L1，下传感器到达超薄切割砂轮片的距离L2，先假设其距离相等。在测量超薄切割砂轮片厚度之前首先根据其基准厚度选择测量时的气压。在气压一定时，已知接触式传感器标定距离为L0和两个接触式传感器探头移动的距离，计算超薄切割砂轮片的厚度δ=L0-L1-L2。厚度测量原理，如图3所示。 图3 传感器对顶测量原理图Fig.3 Schematic Diagram of Sensor to Top Measurement 3 气压对薄切割砂轮片厚度测量精度的影响 在超薄切割砂轮片测量时，由于传感器是气压传感器，因此气压大小影响了测量的精度。当气压过大时，由于超薄切割砂轮片的变形会导致测量数据比实际尺寸要小；气压过小时，由于薄切割砂轮片在磨削过程中产生的翘曲变形会导致测量数值偏大［15］。同时在测量超薄切割砂轮片厚度时，传感器在测量超薄切割砂轮片时的位置是随机的，因此要控制传感器的气压，使传感器测量头所测位置无论是否发生翘曲变形均能测出超薄切割砂轮片的真实值。 3.1 翘曲变形对气压大小的影响 当超薄切割砂轮片发生翘曲变形时，测量值会偏大，为了测量值相对准确，需要传感器增加输出载荷。根据广义胡克定理可得变形量与载荷之间的关系： 式中：Δδ—翘曲变形量；δ—超薄切割砂轮片的厚度；A—超薄切割砂轮片与传感器测量头的接触面积；F—传感器输出载荷