热释电红外传感器在锂电池中的应用.docxVIP

热释电红外传感器在锂电池中的应用 1938年，ta首次提出了用于红外辐射测量的热释电效应概念。Chynoweth和Cooper分别在20世纪50年代和60年代发展了这种思想。20世纪70年代,夜视仪、红外导弹制导等军事领域的应用需求推动了制冷型热释电红外传感器的研究与发展。近年来随着火灾探测、远距高温测试、入侵防盗安全监测、红外光谱测试等民用应用领域的扩大,低成本热辐射计、热电堆和热释电红外传感器全球每年5000万只民用市场的巨大需求,推动了非致冷型热释电红外传感器的发展。器件的发展又反过来进一步促进了热释电材料的研究与发展。到目前为止,热释电材料,如TGS材料、钽酸锂材料、PVDF材料,PZT等铅基陶瓷材料都有较大发展。PVDF材料和铅基陶瓷材料是近年来研究较多的热释电材料;TGS和钽酸锂晶体材料则是热释电器件制作的关键材料,而TGS和钽酸锂薄膜材料则是新兴的研究热点。从器件的性能来看,TGS热释电红外传感器具有信噪比高、比探测率大的优点;但TGS材料易碎,器件加工困难生产成本高,加上TGS居里点在49℃左右,可使用的温度范围很窄,限制了基于TGS红外传感器的发展。钽酸锂晶体材料由于居里点高,热释电系数大,相对介电常数小,由它制备的器件能在室温条件下工作,在1～20μm波长范围内光谱响应一致性非常好,所以钽酸锂晶体是制造热释电器件的优选材料。但是钽酸锂晶体红外传感器的电流响应和比探测率都与敏感单元厚度成反比关系,受材料厚度等几何因素影响,体材料的钽酸锂并不适合高性能系统方面的应用,而薄膜材料的钽酸锂在这方面却有较大的可行性和潜力。因此钽酸锂薄膜及其器件的研究受到空前的重视。本文主要讨论钽酸锂薄膜制备技术及其在热释电红外传感器应用方面的研究状况和应用前景。 1 热释电响应单元的热平衡方程 热释电红外传感器属于热型传感器,是基于热释电效应工作的。入射热流Φ通过透射比为η的红外透射窗投射到面积为A的热释电响应单元上,辐射热流ηΦ被响应单元吸收层吸收产生一个温升θ,θ的大小取决于吸收层传递给热释电材料的热传导,θ变化引起热释电薄膜自发极化,自发极化结果使得响应单元上下表面电极产生热释电电荷,外接前置放大电路就形成热释电电流i。 式中:p为材料的热释电系数,A为热释电响应单元上下电极重叠的部分受光照的面积,θ是热释电响应单元温度,t是时间。从式(1)看出,热释电电流是与辐射热流引起的热释电材料的温度变化而不是温度本身成正比,所以热释电器件具有很高的响应速度;但静态热辐射是不会产生热释电电流的,如果要测量静态热辐射,必须在探测器前面加装机械斩波器或光电斩波器。为了提高传感器电流响应率,在每个斩波周期内得到响应单元的最大温度变化θ是非常重要的。 而θ取决于斩波频率和吸收层向热释电层传递了多少热量:斩波频率小于10Hz,要求响应单元与外界具有良好的热绝缘;斩波频率大于100 Hz,则要求吸收层尽可能薄些,并且要有良好的热容。 为了求出热释电传感器电流响应Ri和比探测率D*,需要根据热释电响应单元的热状态,合理地求出其热平衡方程。热释电传感器理论分析最早采用Putley总结的类似测辐射热计理论的集总参数模型,这种模型忽略了沿热释电响应单元厚度方向和表面方向的热扩散,只适合于“理想”的红外传感器。后来发展了用分布参数求解热平衡方程的理论,Zeal等用热释电响应单元厚度方向的一维热扩散模型分析了带有衬底的热释电探测器的响应率,Logan等用热释电响应单元平面径向一维横向热扩散模型分析了圆形悬空器件的响应率和温度噪声,中科院上海技术物理所也用类似的方法分析了圆形悬空热释电敏感单元的温度分布,用振荡电路中电流涨落的统计理论推导了适用于热释电材料的由介电损耗引起的热噪声公式。根据分布参数求解热释电响应单元热平衡方程的结果,可方便求出热释电传感器电流响应率Ri和比探测率D*: 式中:η为红外窗口材料透射比,C为热释电材料的定容比热,d为热释电薄膜厚度,ε0为真空电容率,ω为入射辐射热流调制频率,K为玻尔兹曼常数,θ为响应单元温度,G为热传导系数,M为热释电探测率优值。式(2)表明,电流响应率Ri与厚度d成反比关系,厚度越薄,电流响应率越高;式(3)表明,传感器的比探测率D*与厚度d的平方根成反比关系,厚度越薄,比探测率越高。所以,当热释电材料选定后,减薄响应单元厚度是提高传感器性能参数的关键,制备热释电薄膜就成了制备高性能器件的关键,这就是世界范围内许多学者努力研究热释电薄膜,如钽酸锂薄膜的原因。 2 酸锂薄膜的制备 近年来,由于钽酸锂薄膜用于制备热释电红外传感器的潜在优势, 目前已有多种薄膜技术用来制备钽酸锂薄膜,限于文章篇幅,现将主要的几种薄膜技术总结评价如下。 Xie用脉冲液体喷射MOCVD法和Wernberg用固相外延MOCVD法分别制备得到钽