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电感耦合等离子体光源中负载匹配箱的设计与仿真 0 射频阻抗匹配系统 在现代的分析工具中，api-ms和api-as（oes）是精确的分析仪器。它可以快速同时检测每周表中的大多数元素，这是最有效的元素分析方法。由于在产生并维持电感耦合等离子体的过程中, 负载阻抗会产生变化, 为了实现射频能量高效率的传输, 这类仪器都使用了射频阻抗匹配系统。 针对ICP光源点火和维持过程的特性, 本文提出ICP光源负载匹配箱的设计方案, 对等离子体产生过程中负载的变化进行深入的分析, 并通过软件仿真, 提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制策略, 确定阻抗匹配网络的参数范围。 1 负载阻抗匹配系统 ICP光源的驱动电源使用27.12MHz射频电源, 输出功率在100～1600W可调, 输出阻抗为50Ω。而等离子体的阻抗只有0.5～1.5Ω, 为了满足产生并维持等离子体的要求, 需使射频电源的输出阻抗与负载阻抗匹配, 从而提高射频能量的传输效率, 因此需要在射频电源和负载线圈之间插入阻抗匹配系统。 如图1所示, 负载阻抗匹配系统主要包括射频电源、控制模块、功率相位检测模块、阻抗匹配网络、负载线圈、驱动电动机和匹配电容位置监测模块。首先, 射频电源的输出信号经过功率相位检测模块, 利用互感器提取出射频信号的电流值和电压值, 通过幅度相位检测器输出电流信号和电压信号的相位差和幅度比, 并将其进行模/数转换, 传送至控制模块。通过分析计算得到射频信号的入射功率、反射功率, 从而计算得到负载阻抗的性质和状态。根据负载阻抗的状态确定控制策略, 通过控制驱动电动机来改变阻抗匹配网络中可变电容的容值, 并利用位置监测模块记录阻抗匹配网络电容值的变化, 输出信号接至控制模块, 实现阻抗匹配网络的自动闭环控制。并且, 控制模块与计算机进行实时通讯, 将ICP光源中的各种参数和负载状态显示出来。 2 抗阻抗混合网络设计 2.1 l型阻抗匹配网络 ICP光源采用L型结构的阻抗匹配网络, 由于L型结构具有阻抗调整范围大的特点, 所以这种结构的阻抗匹配网络广泛用于固定频点的电感耦合等离子体发生装置。图2所示为L型阻抗匹配网络的结构示意图, 此匹配网络由串联电容和并联电容组成。其中, 串联电容作为调谐电容, 由陶瓷真空可调电容和高压陶瓷电容并联组成, 并联电容作为阻抗调节电容, 由空气可调电容和圆片型陶瓷电容组成。两个可调电容与驱动电动机和位置检测器件相连, 控制模块通过控制电动机的运行改变可调电容的容值, 从而改变负载阻抗的状态, 实现负载阻抗与射频电源输出阻抗的匹配。 2.2 抗抗匹配仿真 ICP光源的负载匹配箱中的负载阻抗主要由三部分构成:并联电容、串联电容和负载线圈。负载线圈是一个匝数为3, 直径为?32mm的电感线圈, 使用FLUKE公司的RLC测试仪PM6304测量得到其电感量为450nH, 电阻分量R约为2Ω, 在27.12MHz的频率条件下, 负载阻抗Z为: Z=R+jωl= (2+j76.64) Ω (1) 式中:l为负载线圈的电感量, nH;ω为角频率;rad/s;j为虚部。 利用ADS软件对其进行Smith圆图的阻抗匹配仿真, 如图3所示。得到的这组阻抗匹配网络的参数可用于等离子体产生前的情况, 如表1所示。 2.3 负载圈内互感现象的模拟 ICP光源的负载线圈中插入直径为?20mm的石英炬管, 炬管中通入氩气, 在频率为27.12MHz、功率为1000W的高频电磁场作用下, 氩气电离, 产生环形球状的低温等离子体。此时系统处于失配状态, 需根据等离子体对负载阻抗的影响, 调整阻抗匹配网络的参数。由于负载线圈套在炬管的顶部, 在等离子体产生之后, 负载线圈内的电流产生电磁场, 使负载线圈与等离子体产生互感现象, 形成并联互感电路模型, 其示意图如图4所示。 在图4中,L11和RW为负载线圈的感性分量和电阻分量,L22和R为等离子体的感性分量和电阻分量,M为互感系数,Kip为耦合系数。互感系数M的计算如式 (2) 所示, 根据并联互感电路模型, 负载阻抗Z的计算如式 (3) 所示, 公式中的各参数值如表2所示。 互感系数M为: M=KipL11L22??????√(2)Μ=ΚipL11L22(2) 负载阻抗Z为: Z=ω2L212Rω2L222+R2+Rw+jω(L11?ω2L212L22ω2L222+R2)(3)Ζ=ω2L122Rω2L222+R2+Rw+jω(L11-ω2L122L22ω2L222+R2)(3) 式中:L12为互感, H。 通过计算得到, 互感系数M=37.05nH, 耦合电感L=357.96nH, 负载阻抗Z=9.39+j60.97, 利用此阻抗, 再次进行Smith圆图的阻抗匹配仿真, 得到另一组阻抗匹配网络参数, 可