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mems中微泵的应用 1 微泵的驱动方式 在过去20年中，微电机技术（ss）逐渐应用到医学领域，创造了一个重要的新分支学科（bioss）。医用微机电系统可实现具有最小创伤性或无创性、高精确性、高可靠性、安全性、简便性、快速性、能动性、智能性的医学检查、诊断、治疗和手术,可以介入很小的器官和组织,自动进行精细的医疗操作。其中,微泵(Micropump)是Bio MEMS的重要研究内容之一。它既是显微外科手术用的微操作系统、微定位、微进给装置,以及微创体腔内诊疗微机电系统和微机器人等微系统的动力和执行部件,又在微量药物靶向输送等医疗应用中起着关键的作用,引起了Bio MEMS研究者的广泛重视。 近10 a来,微泵的研究取得了较多的新成果。总的来说,按照驱动方式,微泵可以分为机械式和非机械式2大类。机械式微泵需要一个力学的执行结构来实现泵的功能,如图1所示,最简单的膜型微泵就是通过膜的运动来实现微流体的泵出功能的。而非机械式微泵通过将某种非机械能转变为微流体的动能作为驱动力。除了驱动之外,微阀门是微泵的另外一个重要部件,主要作用在于阻止返流,可分为被动式和主动式。工作时,被动阀依靠微泵入口和出口之间存在的压力差实现阀门的功能;而主动阀则依靠主动施加的驱动力执行功能,虽然其提供了更好的性能,但相对于被动阀来说增加了复杂度和制造费用。虽然有些微泵没有阀门,降低了性能,但结构上的简化使其具有更高的可靠性,同时也具有更低的制造成本。非机械式微泵由于驱动方式具有持续性,一般属于无阀门型微泵。 2 机械微泵 2.1 交变电压的选择 静电驱动是指基于库仑力的原理,在平行的2个极板中,给其中一个固定极板加上单一极性的电压;在另一个与泵膜连接的极板上加上交变电压,交替产生该极板的双向形变,从而实现泵的功能。极板间的引力如式(1)所示: 其中,F为静电驱动力;V为所加的电压;A为极板的面积;x为极板间的距离;ε为介电常数。这种微泵具有低功耗(典型值1m W)和较快的响应速度等优点,主要不足在于其加上较高的电压也只能产生较小的形变,导致最大泵出量很小。国内对于静电式微泵的研究主要集中于理论分析和数值模拟上。 2.2 压电晶体材料制造工艺和设备 压电微泵利用晶体的压电特性来驱动泵膜振动。压电式具有驱动力较大、响应速度快和结构简单等特点。但存在压电晶体材料处理难度大,制造过程比较复杂,费用较高,且相对较高的驱动电压和较小的泵出能力等不足。国内对于压电微泵研究较多,不仅对压电微泵性能进行了理论分析和试验,也开展了部分应用研究。 2.3 振动及泵腔的变化模型 热气动微泵具有空气腔和泵腔2个由泵膜分隔开的腔体,通过1对空气加热器和冷却器使空气腔中的气体周期性地膨胀和收缩,从而使薄膜同时发生周期性的振动,实现泵的功能。加热、冷却导致的气温变化(ΔT)使空气腔容积产生变化(ΔV),从而引起泵腔中压力的变化(ΔP),三者之间的关系可以表示为: 其中,E为表示薄膜弹性的体积模量;β为热膨胀系数;ΔT为气体温度的变化;ΔV/V为容积的变化比。构成热气动泵体和泵膜的材料一般为玻璃和PDMS(Polydimethylsiloxan,聚二甲基硅氧烷)。 2.4 sma微泵的原理 形状记忆合金(shape memory alloy,SMA)是一种能够记忆原有形状的智能合金材料。形状记忆效应是指SMA的2种固态相——高温下的奥氏体和低温下的马氏体之间的相变而发生的延展性形变。SMA微泵正是利用了这种周而复始的两种固体相的相变作为泵的动力来源。常见的记忆合金有钛镍合金、金镉合金、铜锌合金等。SMA需要的输入功率较大,其响应速度也较慢,但其具有较大功(率)重(量)比,集驱动、传动和传感于一身,变形大、输出应力高、驱动电压低和生物相容性等优点,使得它在微小型应用领域具有独特的前景。 2.5 不同金属热膨胀程度的泵膜发生变形的原因 铆合在一起的2种不同金属一般具有不同的热膨胀系数,当通过微泵内的加热器对双金属泵膜进行加热时,由于2种金属的热膨胀程度不同,泵膜就会产生形变。双金属膜可以产生较大的推动力,然而由于常见金属的热膨胀系数都较小,因而双金属膜片的形变较小,响应的速度也不高,并不适用于需要高频振动的应用。 2.6 数字聚合膜icpf 与硅、金属等膜片相比,聚合物泵膜可以产生较大的形变,输入功率也更小。一种最常见的聚合物泵膜材料是离子导电聚合胶片(ionic conductive polymer film,ICPF),它是由聚合电解质胶片和胶片两面化学结合的白金导体构成的。白金导体构成了胶片的两极,胶片在外在电场的作用下会发生阳离子向阴极迁移,同时吸附聚合物中的水分子运动,从而发生阴极膨胀、阳极收缩的现象。当施加周期性交变电场时,聚合物泵膜也会发生周期性形变,为微泵提供动力。 2.7 第