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低阻二氧化锡甲烷气体传感器的研究

摘要

甲烷在自然界的分布十分广泛，是天然气、沼气、坑气的主要成分。作为清

洁燃料，被广泛应用于民用和工业生产中。在一般情况下，甲烷气体无色无味，

当空气中甲烷浓度达到25%~30%时，可引起人体头痛、头晕、乏力等症状，严

重情况下可致窒息死亡，因此使用气体感器对环境中的甲烷进行实时监测具有重

要的意义。基于金属氧化物半导体的甲烷气体传感器具有器件体积小，操作简单

的优点，在矿产开采、工业生产以及家庭安全等方面具有广阔的应用前景。目前

甲烷气体传感器的金属氧化物半导体敏感材料已被广泛研究，相关材料包括

SnO、ZnO、TiO等，随着材料合成技术的不断进步，敏感材料的组成及形貌愈

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发多样。敏感材料微纳形貌的构筑虽然对传感器灵敏度提升起到促进作用，但仍

然存在着器件电阻过高的问题，使得该类传感器的产业化及商业化更加困难。因

此，本文主要开展电阻可控、灵敏度高、制备方法简单、成本较低的金属氧化物

半导体甲烷气体传感器的研究，主要研究内容如下：

（1）利用溶胶凝胶法制备了掺杂Pd元素的SnO材料，在此基础上掺杂二

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价金属阳离子（Ca2+、Mg2+、Sr2+）来调控传感器的电阻。通过一系列气体传感

特性测试可以发现并证明，掺杂Ca、Mg、Sr元素能够使传感器基础电阻升高，

在330°C下，当Ca的掺杂量为0.25wt%时，电阻从63.4kΩ增加到71.6kΩ。

当Ca的掺杂量为0.5wt%时传感器具有最高的灵敏度，在其最佳工作温度下

（300°C），对1000ppm甲烷的灵敏度为8.36，响应恢复时间分别为2s和6s，

在0至1200ppm的气体浓度内，浓度与响应值具有良好的线性关系。增强的气

敏特性归因于金属（Pd）的催化作用和增加的氧空位占比。

（2）以掺杂Pd元素的SnO纳米粒子作为基体材料，并掺杂引入五价金属

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元素（Sb和V）。通过实验测试发现，掺杂Sb元素对降低电阻的效果最为明显，

且当掺杂量为1wt％时，降阻效果最优，即在320°C下，电阻值从63.4kΩ降到

11.0kΩ。在最佳工作温度280°C下，Sb的掺杂量为1wt%的传感器在1000ppm

甲烷气氛下的响应值为5.39，该传感器的响应和恢复时间分别为2s和9s。此

外，传感器表现出稳定且可重复的电阻变化（空气中电阻为45kΩ±5kΩ，1000

ppm甲烷气氛下电阻值为9kΩ±3kΩ）。

本论文主要内容分为以上两个部分，通过掺杂二价和五价金属元素分别实现

对传感器电阻增加和降低的调控，为构筑电阻可控的金属氧化物半导体甲烷气体

传感器提出了可行的参考方案。

关键词：

甲烷气体传感器，二氧化锡，掺杂，电阻调控，高灵敏度

StudyonLowResistanceMethaneGasSensorsbasedonTin

Dioxide

Abstract

Methaneiswidelydistributedinnatureandisthemaincomponentofnaturalgas,

biogas,andpitgas.Asacleanfuel,itiswidelyusedincivilandindustrialscenarios.In

standardstate,methanegasiscolorlessandodorless.Whenthemethaneconcentration

intheairreaches25%~30%,itcancauseheadache,dizziness,fatigueandother

symptoms.Inseverecases