原创力文档用于微晶玻璃研磨抛光的抛光液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
4#
5#
浓度40%，粒径35~40nm硅溶胶
2
－
－
－
－
浓度20%，粒径15~20nm硅溶胶
－
3
－
－
－
浓度10%，粒径55~60nm硅溶胶
－
－
8
－
－
浓度50%，粒径75~80nm硅溶胶
－
－
－
6
－
浓度30%，粒径95~100nm硅溶胶
－
－
－
－
9
有机胺碱
四羟乙基乙二胺
0.1
0.8
－
－
－
三乙醇胺
－
－
0.25
0.9
1
25%KOH溶液
0.009
0.02
0.045
0.03
0.06
活性剂
FA/OI型活性剂
0.02
－
－
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