CN111998932A 一种石墨烯波纹膜光纤fp声压传感器及其制作方法 （北京航空航天大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN111998932A

(43)申请公布日2020.11.27

(21)申请号202010771739.8

(22)申请日2020.08.04

(71)申请人北京航空航天大学

地址100191北京市海淀区学院路37号

(72)发明人李成刘欢肖习刘宇健

(74)专利代理机构北京科迪生专利代理有限责任公司11251

代理人杨学明贾玉忠

(51)Int.CI.

GO1H9/00(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种石墨烯波纹膜光纤F-P声压传感器及其制作方法

(57)摘要

CN111998932A本发明公开了一种石墨烯波纹膜光纤F-P(Fabry-Perot)声压传感器及其制作方法，包括单模光纤(1)、光纤插芯(2)和石墨烯波纹膜(3)。所述的声压传感器以波纹状石墨烯膜为压力敏感单元，利用单模光纤传导激光，基于光纤F-P干涉原理，实现薄膜挠度形变的高灵敏度探测。所述的石墨烯波纹膜相对于传统的圆平膜片，具有波纹状结构，因膜内应力释放，可有效提高薄膜压力-挠度特性。本发明所述的声压传感器具有结构简单、体积小、高灵敏度、抗电磁干扰等优

CN111998932A

CN111998932A权利要求书1/2页

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1.一种石墨烯波纹膜光纤F-P声压传感器的制作方法，其特征在于：该传感器的制作方法包括以下步骤：

步骤1.传感器组件选型：选用石墨烯膜、光纤插芯、单模光纤、粘合剂；其中，所述的光纤插芯可为陶瓷插芯或玻璃毛细管；所述的石墨烯膜可为铜基、镍基或一步转移法制备而成的石墨烯膜，其厚度可为单层、少层或多层，并通过步骤2完成石墨烯波纹膜的制备；所述的粘合剂可为环氧树脂胶、UV胶或其他类似粘合剂；

步骤2.所述的石墨烯波纹膜制备过程为：首先，在清洁的硅片上旋涂一层光刻胶，经过光刻工艺制成凹槽形波纹基底；其次，同样采用光刻工艺，在硅片上制作一个与波纹槽同心的环状凸台，用于光纤插芯与石墨烯膜的对准；接下来，将商用石墨烯膜剪切至合适大小，并利用无尘滤纸将石墨烯膜转移至去离子水中；最后，通过捞取的方法，在去离子水中将石墨烯膜转移至波纹基底上，并在室温下自然干燥，从而基于光刻胶完成波纹膜的制备；

步骤3.对所述的光纤插芯端面进行研磨以使其平面平整、光洁，然后利用去离子水进行超声清洗；之后，将单模光纤的一端剥去涂覆层，并用光纤切割刀切平；最后，通过端面检测仪或显微镜检测光纤插芯端面和单模光纤切平后端面的平整度；

步骤4.将粘合剂涂覆在步骤3所述的光纤插芯端面的外围；然后，将光纤插芯对准已转移石墨烯膜的波纹基底上的环状凸台，并插入凸台内，在室温环境下固化环氧树脂胶；之后，将波纹基底与光纤插芯整体倒置与于丙酮溶液中，溶解光刻胶；最后，取出光纤插芯并置于精密干燥箱中干燥；

步骤5.将步骤4所述的吸附有石墨烯波纹膜的光纤插芯固定于微位移平台上，将步骤3所述的单模光纤插入插芯孔至合适深度，并固定；

步骤6.将带有尾纤接头的单模光纤的另一端接入三端口环形器的一个端口，并将环形器的另外两个端口分别与宽带光源和光谱分析仪相连；

步骤7.使用微位移平台将单模光纤插入光纤插芯内，则由单模光纤端面和石墨烯波纹膜构成法布里-珀罗干涉腔，并通过光谱仪显示的干涉条纹确定腔长，当腔长为～60μm时，使用环氧树脂胶将单模光纤和陶瓷插芯尾端固定，完成石墨烯波纹膜声压传感器的制作。

2.根据权利要求1所述的石墨烯波纹膜光纤F-P声压传感器的制作方法，其特征在于：所述的插芯材料为ZrO?陶瓷，但不局限于ZrO?陶瓷，也可为具有类似陶瓷插芯结构的毛细管。

3.根据权利要求1所述的石墨烯波纹膜光纤F-P声压传感器的制作方法，其特征在于：所述的石墨烯波纹膜为单层、少层或多层，其波纹形状包括但不局限于正弦、矩形、梯形和锯齿形；

对于所述的石墨烯波纹膜，在均布载荷q作用下，其中心挠度w与波纹膜各参数之间的关系为：

其中：

其中：