纳秒脉冲电源驱动提高KrCl^＊准分子灯辐射效率的实验研究.pdfVIP

年 月. 照明工程学报 第 卷 第 期 . 纳秒脉冲电源驱动提高木准分子灯辐射 效率的实验研究 陈古源 高岚 庄晓波 张善端 刘克富 复旦大学电光源研究所,上海 摘 要:针对目前准分子灯效率偏低的现状,为了从电源角度提高准分子灯紫外辐射的效率,本文对电源驱动类 型 正弦/脉冲 以及脉冲电源参数 极性、电压幅值、频率 对介质阻挡放电激发准分子 紫外 辐射的影响进行了实验研究。实验结果表明:脉冲驱动比正弦电压驱动紫外辐射的效率提升 . %;电源的极性 对灯的工作特性没有显著的影响,单向负脉冲效果略好些;随着电源电压幅值的增加,准分子灯紫外辐射强度增 加,但紫外辐射效率下降;频率升高,准分子灯紫外辐射强度提高,效率随频率变化不明显。本文还对实验结果 作了简要分析和理论解释。 关键词:准分子灯;紫外光源;介质阻挡放电;纳秒脉冲电源 , ,. ,/ ,, . :. % :;,, ; , ,. . :; ;; 化工、卫生和环保等领域中基础性的和关键性的技 术。所有这些应用均要求光源有较窄的辐射光谱和 引言 一 定的辐射光强度。例如在环保领域,只有在紫外 近年来,紫外光源技术已成为微电子、医药、 辐射的波长与待处理的有机物吸收波长相匹配的情 基金项目:国家自然科学基金资助 照明工程学报 年 月况下,处理效率才能达到最大。传统的低气压汞灯 发射的紫外光谱只有 和 两条可用,而 惰性气体灯辐射的紫外光强又相对较弱,不符合应 用的要求。 介质阻挡放电能够激发生成各种波长的高效准 分子紫外辐射,基于此而制成的准分子紫外光源完 全满足实际应用的需要。但是目前紫外准分子灯的 ~ 紫外辐射效率仍然相对较低。一些研究者也对提高 图 灯和紫外探头的测量不意图 稀有气体一卤素准分子光源的效率进行了研究,但 ? ? 瞬时电流; 是很多都是改进几何结构以及寻找最佳充气压和稀 一 周期; 有气体卤素最佳配比等。很少有文献指出驱动电源 Ⅳ??周期内的采样个数; 的参数对于辐射效率的影响。为了寻找更加合适的 △ ??间隔时间。 电源参数以提高准分子灯的工作效率,本文进行了 最后根据得到的紫外辐射功率 和输入功率 实验研究,分析不同电源参数 激励类型、极性、 我们就可以根据式得出准分子灯 的紫外辐射 频率、幅值等 对于准分子灯的工作特性的 效率: 影响并作了简要分析。 ,/ 实验架构 从而根据对比不同电源工作下辐射效率的高低, 寻找出电源参数对于准分子灯工作特性的影响。 . 测量方法 . 实验装置 对 的辐射功率进行精确测量比较困难, 实验中使用的准分子灯,充气压: 托,壁 所以各个研究小组最佳参数和最佳效率相差很大。 厚: .,用不 同的电源驱动。用高压探头 在文献?,用化学方法测量的绝对辐射强和电流探头度;而在文献 ,则通过已定标的光敏二极管配合 配合示波器 测量电压电流波 示波器测辐射功率。本实验采用 中的测量方法, 形。紫外辐照度计探头 ? 通过测定紫外辐照度,再用公式 计算出辐 和紫外辐照度计.用于测量 射功率。的辐照度。 准分子灯的直径远小于其长度,所以可以把它 实验中使用的纳秒脉冲电源是先前我们自行设 看成线光源, 的辐射功率 可由 公 计的,具体参数如表 所示,典型波形如图 所示 式计算得出。 表 纳秒脉冲电源参数表 尸 电压? 式中, ??测量得到的辐照度; 频率 上升沿 ??灯中心到紫外探头的距离 ; . 半高宽 ? ? 灯的发光长度 ; 极性 正/负/双向 ? ? 半顶角,如图 所示。 根据公式测得辐射功率后,再通过示波器 获得电压电流波形,积分就可以得到准分子灯的输 实验结果 入功率。 设计了几组对比实验,首先比较了正弦电源和 专 熹“△ 塞“ 脉冲电源对准分子灯工作的影响,然后就脉冲电源 式中,“?? 瞬时电压; 极性、电压幅值、工作频率等参数的影响进行了比第 卷第 期 陈古源等:纳秒脉冲电源驱动提高准分子灯辐射效率的实验研究双向脉冲电源驱动下,一个周期内有两次放电, 放电功率与紫外辐射功率都相应比单向脉冲高,而紫 外辐射的效率与单向脉冲比较接近,单向负脉冲驱动 效率略高一些。这一结果与文献 中的结论一致。 脉冲电源的极性不同,对于介质阻挡放电的特 性并没有显著的影响,因此产生准分子的等离子体 化学过程同样没有明显的差别,相应的也没有影响 灯的工作特性。实验中单向负脉冲效果略好一些, 可能是因为在负高压脉冲放电过程中,电源能馈人 更多的能量。 . 电压幅值 为了比较电压幅值对于紫外准分子灯工作特性 图 脉冲电源的典型波形图 的影响,在工作频率 、单向负脉冲条件下, 分别对比了在不同电压幅值驱动下的准分子灯的工 较研究。 作特性。具体结果如图 所示。 . 激励类型 分别使