含氟硅聚苯并噁嗪材料的制备及其表面性能.pdfVIP

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第 63卷 第 6期 化 工 学 报 VoI.63 NO.6 2012年 6月 CIESC Journal June 2O12 含氟硅聚苯并嘿嗪材料的制备及其表面性能 曲 丽,周长路 ,辛 忠,刘 娟 (华东理工大学化学工程联合 国家重点实验室,上海 200237) 摘要:合成了含氟硅氧烷苯并嘿嗪单体 ,在采用光学显微镜等考察水解沉积条件对单体在羟基化基片表面化学 成膜的影响的基础上,考察 了温度 、时间等对聚苯并嘿嗪成膜后表面能的影响,并对聚苯并嚼嗪材料在不同热 处理温度 (IOO~35o~C)下表面能的热稳定性能进行了研究。结果表明用 pH一2的盐酸溶液调节沉积液所得单 体膜最均一完整,聚合物的表面能随着固化时间的增加先降低后升高,固化温度越高,达到完全固化所需要的 固化时间越短,在 160、190、220、24O~C下固化所得聚合物最低表面能分别是 15.6mJ·1TI (4h)、15·0mJ ‘ m一 (1h)、15.3mJ·m (15min)、15.5mJ·rn (5min),均低于 Teflon的表面能 (22.0mJ·rll )。聚 合物膜表面能在低于 200~C的温度下处理其表面能可基本保持不变,可 以作为抗黏材料应用于纳米压印技 术 中 。 关键词 :聚苯并嚼嗪;制备 ;表面性能;热稳定性能 0438—1157.2012.06.041 DOI:10.3969/j.issn. 中图分类号 :O647 文 献标志码 :A 文章编号 :O438—1157 (2012)06—1934—09 Preparationandsurfacepropertiesoffluorinated silane-functionalpOlybenzOxazinefilms QULi,ZHOUChanglu。XINZhong,LIUJuan (StateKeyLaboratory0fChemicalEngineemng,EastChinaUniversityofScienceandTechnology,Shanghai200237,China) Abstract:Oneofthemostimportantproblemsthatareusuallyencounteredwithnano—imprintlithography isthetendency fortheresistpolymer to adhere to themold surface during the demolding process.In general,oneapproachtoreducingtheadhesionistoapplyalow—surface-free—energyreleaseagentontothe surfaceofthemold.Polybenzoxazine isarecently discovered classoflow—surface—free—energymaterials· TheDatterntransfershavebeenrealizedbyusingtheB-m polybenzoxazine—treatedmoldwithoutanyresist adheringtothesurfaceofthemoldinthenano—imprintlithography.However,theB—m polybenzoxazine re1easeagentfilm maybedamagedduring demoldingprocess.Itisaconflictingand importantquestion abouthow tolowerthesurfacefreeenergyofthereleaseagentandenhancetheadhesivefo

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