Cu%2fTiOx复合薄膜的结构及亲水性研究.pdfVIP

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第十二届全国固体薄膜学术会议 南宁2010 Cu/TiOx复合薄膜的结构及亲水性研究 于顺利朱晖文李培刚徐蕙崔灿唐为华 浙江理工大学物理系,光电材料与器件中心,杭州310018 摘要:在室温下,采用射频磁控溅射法制备了Cu/TiO。纳米晶复合薄膜。利用x.射线粉末衍射 收谱和亲水性。结果表明,退火前后薄膜中钛元素皆以Ti”形式存在。薄膜在可见Ⅸ有吸收,吸收 限为600nm左右。Cu/TiO。复合薄膜具有良好的亲水性。这主要是由于薄膜中氧化钛聚集形成TiO。, 从而使得薄膜表现出亲水的性能。 关键词:Cu/TiO。复合薄膜;射频磁控溅射;XPS;亲水性 Structureand of Films hydrophilicityCu/TiOxComposite Weihua WangShunli,ZhuHuiwen,LiPeigang,XuHui,CuiCan,Tang for Matericalsand Sci—Tech Departmentofphysics,CenterOptoelectronicsDevices,ZhejiangUniversity, 31001 8China Hangzhou filmshavebeen RF atroom Abstract:Cu/TiOx composite depositedby magnetronsputteringtechnology andstructuresofthe filmshavebeen chemical Cu/Tiox temperature.Thecomponents composite characterized byX-ray photoelectron diffractometer(XRD),X-ray andwatercontactmeasurements.Itisfoundthattitaniumelement intheform spectroscopy angel presents andafter resultsofUV-vis showthevisible ofTi”before annealing.The spectroscopy lightabsorption featuresfor filmswiththe about600hm.Contactresultsindicatethat Cu/TiOxcomposite boundary Angle the films isattributedtothe Cu/TiOx Tiox. representhydrophilicity,whichgathered films;RF Keywords:C“TiOxcompositemagnetronsputtering;X—raypotoelectr

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