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置於SEM腔髓内的奈米操作移勤装置 臻威政、潘善髓、姚斌藏 (工棠技衡研究院量测技衡酸展中心，台潼新竹。300) 摘要 一小型化的兰轴移勤装置可架噩捞商棠化的捕描鼍子颞微镜的腔谴内．由外部以程式疆 勤使其在捅描筏子颞微镜的真空系统下操作。X、Y轴是利用惯性力作用东疆勤．方奎脲波200V操 作下．最小移勤位移量5nm。Z轴是由inchworm东曩勤。最小位移量0．Irim。此三轴移勤装置 可用於奈米碳管舆AFM、STM等探针的黏接及奈米生物檬本的捻测。 1引雷 奈米物髓的操控是奈米尺度工程舆科罩的一瑁挑戥，目前已有多獯蹄魇於探针捕瞄式 颢衍(SPM)的俄器，如原子力颓微镜、捕瞄穿隧颢微衍、磁力探针颓微衍、鼋化擎探针颓微 筑等臆用於各领域的研究及虑用。本文鼗展一微小化的三轴向定位装厦可安匿於蔺用的捕 描鼋子颢徼筑的腔髓内，利用遭獯彀针可以在捕描鼋子颞徼镜的真空系兢下疆勤·提供奈 米碳管於奈米爽爪、址M、STM等探针的黏接功能，系统的疆勤横棒也可以逵到三稚尺寸 奈米极的移勤量，以提供奈米靓测舆榆测用的精密致勤系统。 2奈米移勤装置 本文所我种的奈米操控三轴奈米移勤装噩，主要粗成有雨部分：第—部分由x、Y轴向 的逼勤由惯性力移勤台(inertial walker)孰行·第二部分z轴的遁勤由一蓠用的蠖式横槽 (inchworm)孰行【1】。惯性力移勤台由雨倜猢立的金属移勤台粗成【2】【3】，每一移勤台於移勤 方向的一端黏附著一支雁鼋致勤器(piezo)，由於匿鼋致勤器的伸糖勤作·可使舆其相连的 移勤台惯性力克服所受的摩擦力·便可作前後不同速率的移勤，雨倜致勤器互成垂直安迢。 本毅舌十疆勤器的安避方式如圃1所示，X、Y轴移勤台正下方的基座上方加工二倜平行的 屠的Y轴移勤台底部黏附有三倜金魇球，接髑方式属黠接桶，以逵有效降低摩擦；}IJ力的功 能，移勤台藉由金属球舆载玻片接蝎作滑勤。上屉的X轴移勤台底部亦黏附著三倜金属球 ；娶下厨的Y轴移勤台接髑，但上下屠平台固的2倜金屡球是座落於V型凹槽中可礁保移勤 ·———139·-—— 顶端舆x平台上是用於安置檬品、探针或是其他的末端的作用装置，可随不同用途更置不 同灾治具，灾治具舆x平台之固以Teflon糨粽。 圊1奈米移勤装避示意圊 3奈米移勤装犀的疆勤 V，偏移构20V。可尊致”inchworm”有如矗般的 同的迪横鼋麈波形，其鼋魇峰值Ⅳpp)构50 V 移勤。以上的麈鼋陶瓷之瞩勤鼋匿皆由高赝放大器输出·寅骏中所加的鼋麈在200—400 Board， 同。所需的波形由LabVIEW程式控制倜人鼋腾中的资料撷取卡(DataAcquisition Hz蠲。 DAQ)输出而得，如圃2所示，所加的鼋蜃频率在100-4k 驱勤x．Y移勤台的逗勤·须封匿鼋陶瓷管壁施於颓似抛物腺函敷的非撩眭鼋匿波形。 kHz。有敷獯鼋匿波形可以使移 系统最大警虑频率受限於匿鼋陶瓷的共振频率，其值构50 勤台在某一方向的暹勤有足麴的加速度，但在反方向的加速度卸很低不足以麈生有效的逼 勤。寅骏中所使用的抛物腺鼋匿波形函敷足以使xy移勤台麈生前遘舆後退逼勤，前逢舆後 退的波形恰巧是畸圊轴上的封映函敷。前遭波形如圜4所示，其波形梭慢上升使移勤台因 燕法突破最大静摩擦力而保持其位置固定不勤，而快速的下降淳致一倜很大的加速度，此 加速度足以使移勤台克服最大静零擦力，移勤台阴始滑行且最辂彦生了浮位移。滑勤刚阴 始畴，鼋匿舆移勤台系统参敷的相封丽傈如公式(1)所示。 AV(1+堕)‰g／Sc02