电化学沉积DLC薄膜AFM研究.pdfVIP

电子显微学报JChinElectrMieroscSoe 21(5)655～6562002年 655 侈 阎兴斌，徐洮，杨生荣，陈淼 (中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，甘肃兰州730000) 类金刚石碳膜(diamondlikecarbonfihns，简称结构特性。图1显示电化学沉积得到的DLC膜的 DLC films)是一类硬度、光学、电学、化学和摩擦学等AFM表面形貌图。由图可以看出，此类DLC膜是由 特性都类似于金刚石的非晶碳膜。例如，它具有高 均匀分布于薄膜表面的球形纳米颗粒组成，这些颗 硬度，抗磨损，化学惰性，介电常数低，宽光学带隙， 粒的粒度大约为10～20nm，而且十分致密。 良好的生物相容性等特点。它可以应用于机械、电 图2显示在1600V直流电压条件下沉积薄膜 子、化学、军事、航空航天等领域，具有广泛的应用前 时电流密度随时问的变化关系曲线。从图中可以发 景。目前制备类金刚石碳膜一般用气相沉积方法 mA／ 现，反应刚开始的10min之内，电流密度从约34 c (化学气相沉积法和物理气相沉积法)，但是气相合 m2下降到15mA／(-m2，然后逐渐上升。这一现象与 成实验装置的复杂性和基底的高温都导致了这些方 文献报道有所不同…，具体原因有待进一步研究。 法具有一定的局限性。近年来，研究人员开始了在 为了研究电化学法沉积得到的DLC薄膜的摩 液态低温下电化学沉积制备类金刚石碳膜的尝 擦学行为，对该薄膜在于摩擦条件下的摩擦性能进 试“。o。由于这种方法试验设备简单，成本低廉，试 行了测试。图3是此类DLC薄膜的摩擦系数随负 验条件是常压低温，所以大大推动了DLC薄膜制备 荷变化的关系曲线图。结果表明，此类DLC薄膜具 技术的发展。 有良好的耐磨性能，摩擦系数为012左右；在选用 本文利用原子力显微镜(AFM)对电化学沉积的 DLC薄膜表面形貌进行观察，并初步考察了该薄膜 薄膜的摩擦系数随负荷的增加而减小。由于DLC 的摩擦学特性。 薄膜具有很高的硬度，其低摩擦系数不可能像低硬 实验方法 度润滑材料那样依靠低的硬度和剪切应力来获得， 源物质为分析纯的甲醇有机溶剂，阳极为石墨 而是由它的化学惰性和摩擦过程中石墨化决定。石 电极，阴极上装有电阻率为0．015n·Cill的单晶硅片墨化可导致DLC薄膜表面微小石墨层片在低剪切 作为基底，面积为100mill2。沉积前硅片用5％HF应力的束缚下来回流动，从而起到减小摩擦系数的 清洗，然后用乙醇、丙酮超声洗涤5min。电极距离8 mm。直流电源0～2500V连续可凋，沉积温度60 发生石墨化转变，使局部区域的润滑性能得到改善， ℃，沉积时间2h。用SPM一9500型原子力显微镜对 从而降低摩擦系数。 样品进行表面形貌分析；在DF—PM型动静摩擦系数 参考文献 精密测定仪上测定该薄膜的摩擦性能。摩擦偶件采 NambaY VaeSciTeehnol 用≠3的红宝石球，运动方式为往复滑动，负载分别 [1J J