氮化钛薄膜对材料机械性能表面强化研究.pdfVIP

∞32年天津rr、舟铭、信息技术、电子慢裹色I秆学术会议 氮化钛薄膜对材料机械性能的表面强化研究 曹政真 (天津通信广播集团有限公司移动部开发所邮编：300140电话 摘要氮化钛(倒)薄膜以其独特的性能不仅备类商品的表面装饰上有着广泛的应用，而且在机械工业也展示了 巨大的应用前景。本文利用大功率偏压电源的多弧离子镀技术，采用工具镀工艺，在Ti一6AI一4V合金材料表面 制备了俐薄膜。X射线光电子能谱检测证明了所制备的薄膜确为TiN。机械性能测试表明：具有删涂层样品的 显徽硬度大大高于n合金基材，同时耐磨性能也明显得到改善。 关键词多弧离子镀氮化钛机械性能 i引言 随着社会进人新世纪，机械工业对刀刃具的性能提出了更高的要求，这就为刀刃具市场开发带来了新的 发展契机。刀刃具的加工处理是最重要的工业，它对各行各业的发展起着至关重要的作用。无论是工业、农 业，机械制造，还是航空航天、通讯、建筑、医药业。只要有加工工艺过程，就有刀刃具的足迹。因此刀刃具市 场已成为基础工业中最大的市场。然而目前所使用的各类刀刃具普遍存在着使用寿命不高而影响生产效率 的问题。其中的原因大多因为表面硬度和耐磨性不够高所致。因此表面强化工艺就成为改善刀刃具使用寿 髓N具有高硬度、优良的耐摩擦磨损性能、良好的化学惰性、独特的颜色。这些非凡的特点使得TiN在耐磨 和耐腐蚀的表面涂层、半导体的扩散阻挡层、装饰行业等均有广泛的应用【25j。在众多的表面涂层制备方法 中，离子镀是制备倒薄膜最有效的技术。它是在真空条件下。利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电 离，并在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下，将蒸发物质或其反应物沉积在基片上。离子镀把真空蒸发技 术与气体的辉光放电、等离子体技术结合在一起，使镀料原子沉积与载能离子轰击改性同时进行，不但兼有 真空蒸发和溅射的特点，而且具有涂层附着力高、绕射性好、可镀材料广泛等优点【2t3．6j。多弧离子镀是离子 镀技术应用中进一步开发出来的一种技术【7．8】。1981年美国多弧公司首先推出世界上第一台工业实用化设 备，我国从1986年开始研究开发多弧离子镀设备，经过多年努力，目前国产的设备已在生产中发挥着相当可 观的作用。 膜，目的在于分析用工具镀工艺制备的薄膜结构特征，并研究它对硬度和耐磨性的影响。 2实验和方法 体。用于沉积的一面用金相水砂纸和抛光粉精抛至镜面。沉积前样品依次用三氯乙烯和酒精各超声清洗10 rain，烘干后放进镀膜室。 Pa。然后通入Ar气，在 TiN薄膜是在SA一6T型多弧离子镀设备上完成的。镀膜室基础真空为4(10-3 一700V的负压下对样品表面轰击清洗5 (弧电流：55A。弧压：20v)，在高负压下进行主弧轰击，目的在于使界面产生原子混合和扩散效应，以增加结 112 20眈年天埠rr、网络、信息技术、电子使寰翎新学术击谊 ————；————≈————目—————————{{——R————≈—==_-——_—一一= 制备。 利用美国I珊I公司的PHI一5300 ESCA型x射线光电子能谱仪对所制备的薄膜进行结构特征分析。实 验中所用MgK(X射线功率为250 w，通过能量89．45“，分析室真空高于10—6 P8。 采用bin一6型显微硬度计测量镀膜前后样品的显微维氏硬度。所加载荷为10 g。加载时间5。，每个样 品测3个点取平均。采用删一20D型磨损实验机对镀膜前后样品的耐磨性进行分析。实验中载荷为3妇， 用I牛顿载荷。 3结果和讨论 3．I薄腠结构特征分析 点在于它不仅可以测定薄膜表面的组成元素，而且能确定各元素所处的化学状态。当某原子处于不同的价 态或与其