薄膜体声波谐振器+(FBAR)的结构制备工艺研究.pdfVIP

下载本文档

353
0
约1.31万字
约 5页
2016-05-13 发布于安徽
举报
版权申诉

薄膜体声波谐振器+(FBAR)的结构制备工艺研究.pdf

1、本文档共5页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

STUDYoFSTRUCTURALFABRICATIoNPROCESS0F FILMBULKACoUSTIC RESoNAToR(FBAR) ZHONG HUANG，YuSHI，JieYANG，Bao-linZHAO，Hui Guang-jun State ThinFilmsand Scienceand KeyLaboratoryofElectronic IntegratedDevices。UniversityofElectronicTechnologyofChina, Section dianshe No．t 2．North 610054，China Road,Chengdu E-mail：hu ThinFilmBulkAcoustic basedontheMEMSfabficmion becomeone Resonator,grown technologysimultaneously，has ofthemost deviceswithintheareaofwirelesscommunication hassuchdistinct positive application．FBAR advantages as andwell withIC volume，better Q·values higherfrequency，smallerpowerhandlingcapabilities，higher compatibility then introducesthe ofFBAR．anddiscussesthedetailedcharacters techniques．Thepaperbriefly operationaIprinciple andstructuralfabrication ofthreekindsFBAR．The ofFBARwilIalsobe of mainly processes packagetechnology described． Keywords：Bulkacouaic，MEMS，FBAR,SMR，packaging 薄膜体声波谐振器(FBAR)的结构制备工艺研究黄光俊石玉杨杰赵宝林钟慧 610054网川I省成部市建设北路一段四号电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室薄膜体声波谐振器是基于MEMS制造技术而迅速发展起来的器件，由于其具有频率高、体积小、承受功率大、 Q值高、并与集成电路工艺兼容等诸多优点，它成为无线通信臆用领域最具有潜力的器件之一。MEMS制造技术贯穿于体声波谐振器的整个制备工艺过程。是实现FBAR器件的基础T艺。本文简要阐述了薄膜体声波谐振器的_T作原理，介绍了其三种结构制备的各白特点．并结合MEMS制造技术对各个结构的制作工艺进行了详细分析和探讨，最后对FBAR器件的主要封装技术进行了简要介绍。关键词：体声波，MEMS，FBAR，SMR，封装 1．引言