表面粗糙度测量显微系统技术分析和不确定度评定.docVIP

表面粗糙度测量显微系统技术分析和不确定度评定 　　【摘要】基于扫描共焦原理的激光显微系统因其容易定位、精确测量微型轮廓、高分辨率等优点，顺应了现代社会对机械精密加工领域提出了更高要求的发展趋势。本文全面分析了基于扫描共焦原理的激光显微系统测量表面粗糙度的工作原理，并进行了关键技术的技术分析。研究了测量重复性、仪器示值误差、标准量块校准不确定度、温度等因素对精密测量实验的影响，提出了选用特殊材料、仪器等措施改善实验测量条件的方法，对激光显微系统测量结果进行了不确定度评定。最终结果表明这一研究可以普遍用于机械精密加工行业精密测量，对表面粗糙度测量具有指导意义。 　　【关键词】表面粗糙度；激光显微系统；技术分析；不确定度评定 　　Abstract：Laser micro system，based on scanning confocal principle，conforms to the trend of development that puts forward higher request to the field of precision machining，because of its advantages of easy positioning，accurate measurement of micro profile，high resolution.The article analyzes laser micro system working principle of measuring surface roughness roundly based on scanning confocal principle and makes a concrete analysis of the key technology.We have studied the influence of the repeatability of measurement，instrument error，calibration uncertainty of standard gauge block and temperature on precision measurement experiment.Therefore，we offer a method in order to improve the measurement conditions by using special materials，instruments and laser micro measurement uncertainty is assessed.The final results show that this research can be widely used in precision machinery processing industry，precision measurement and it has directive significance to the surface roughness measurement. 　　Key words：Surface roughness；Laser micro system；Technical analysis；Uncertainty evaluation 　　1.引言 　　随着机械精密加工行业的不断发展，表面粗糙度测量技术在机械、电子、光学等精密加工行业的地位显得至关重要，传统触针式的表面粗糙度测量方法容易受到探针针头直径大小、具体形状和加载等众多因素的禁锢。但新型、技术含量高的非接触式检测仪器扫描共焦激光显微系统迅猛发展，因凭借容易定位、精确测量微型轮廓、高分辨率等??良特性，在微电子、航空航天和生物医学等领域有着广阔的应用前景。 　　本文对扫描共焦激光显微系统的工作原理作了详细的介绍并做了3项关键技术的技术分析，利用实验数据计算出表面粗糙度的高度特征参数Ra。对于3项关键技术密切联系配合做成的激光显微系统，进行了不确定度分析，得出了该种系统测量表面粗糙度的精确度，对于机械精密加工行业具有重要的利用价值。 　　图1 激光显微系统测量原理示意图 　　2.基本理论 　　来自激光源的激光束扫描目标对象的表面，接受光元件通过半反光镜接收到目标对象表面反射回的激光束，该反射光的强度和镜头高度位置被储存在存储器中。因为激光扫描显微镜获取并记录了X方向上1024个点以及Y方向上768个点的反射光强度和镜头高度，所以总共保存了786，432个点的数据。一个表面扫描完毕后，物镜在Z方向上根据指定的距离和重复次数移动，该步骤重复进行。每个像素的反射光强度会与之前步骤中记录的数值进行比较：如果测量值大于存储值