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超精密加工技术的研究与应用 0 超精密加工是现代制造科学的重要基础 超精加工技术一直采用现代最新科技成果，提高了加工精度，提高了自身。因此，“超精细”的概念随着科学技术的发展而不断更新。目前超精密加工技术是指加工的尺寸、形状精度达到亚微米级, 加工表面粗糙度R 超精密加工目前包括4个领域: (1) 超精密切削加工; (2) 超精密磨削加工; (3) 超精密抛光加工; (4) 超精密特种加工 (如电子束、离子束加工) 。本文将重点介绍超精密切削、超精密磨削和超精密抛光技术。 超精密切削是特指采用金刚石等超硬材料作为刀具的切削加工技术, 其加工表面粗糙度R 超精密磨削是指以利用细粒度或超细粒度的固结磨料砂轮以及高性能磨床实现材料高效率去除、加工精度达到或高于0.1μm, 加工表面粗糙度R 超精密抛光是利用微细磨粒的机械作用和化学作用, 在软质抛光工具或化学液、电/磁场等辅助作用下, 为获得光滑或超光滑表面, 减少或完全消除加工变质层, 从而获得高表面质量的加工方法, 加工精度可达到数纳米, 加工表面粗糙度R 超精密加工是现代高技术战争的重要支撑技术, 是现代高科技产业和科学技术的发展基础, 是现代制造科学的重要发展方向 超精密加工应用范围广泛, 从软金属到淬火钢、不锈钢、高速钢、硬质合金等难加工材料, 到半导体、玻璃、陶瓷等硬脆非金属材料, 几乎所有的材料都可利用超精密加工技术进行加工。现代机械工业之所以要致力于提高加工精度, 其主要原因在于:可提高产品的性能和质量, 提高其稳定性和可靠性;促进产品的小型化;增加零件的互换性, 提高装配生产率, 并促进自动化装配。随着现代工业技术和高性能科技产品对零件精度和表面完整性的要求越来越高, 超精密加工的作用日益重要, 它对国防、航空航天、核能等高新技术领域也有着重要的影响, 超精密加工综合应用了机械技术发展的新成果以及现代电子、传感技术、光学和计算机等高新技术, 是一个国家科学技术水平和综合国力的重要标志, 因此受到各工业发达国家的高度重视。最近启动的研究计划包括:2001年美国的国家纳米科技推动方案 (National nanotechnology initiative, NNI) 计划、2002年英国的多学科纳米研究合作计划, 2002年日本的纳米科技支撑计划。由宏观制造进入微观制造是未来制造业发展趋势之一, 当代的超精密加工技术是现代制造技术的前沿, 也是明天技术的基础。 我国制造业产值居世界第四, 约占总产值的5%, 但单位产值的能耗和物耗居世界第一, 比发达国家高4~10倍。我国目前某些精密机电产品虽已能生产, 但大部分超精密加工产品仍然靠加工后经分选获得, 因而成品率极低, 核心关键零部件仍须进口, 如飞机发动机、高档数控机床仍须进口。例如, 2003年我国进口机床41.6亿美元, 进口精密数控机床平均单价33 000美元, 出口低精度廉价的简单机床600万台合3.8亿美元, 平均单价60美元, 单价相差550倍, 进出口逆差高达11倍以上。某些大型精密机械和仪器国外还对我国禁运。此外, 即使进口了高档精密数控机床, 在超精密加工工艺的开发上我国离先进国家相比还有很大差距, 这就不能充分发挥进口精密机床的作用。总体来说, 我国制造业缺乏核心竞争力, 不能满足我国成为世界制造强国的需要。这些都充分说明我国必须大力发展超精密加工技术。 1 国内外发展现状与比较分析 1.1 影响超精密加工精度的因素 超精密加工发展到今天, 已经取得了重大进展, 超精密加工已不再是一种孤立的加工方法和单纯的工艺问题, 而成为一项包含内容极其广泛的系统工程。影响超精密加工精度的主要因素包括:超精密机床、超精密加工工具 (刀具、磨具、磨料等) 、超精密加工工艺、被加工材料、夹具、在线检测与误差补偿、超精密加工环境 (包括恒温、隔振、洁净控制等) 。只有将各个领域的最新技术成就集成起来, 才有可能实现超精密加工。 1.1.1 纳米加工机理的提出 超精密加工是以每个加工点局部的材料微观变形或去除作用的总和所体现的。其加工机理随着加工单位 (加工应力作用的范围) 和工件材料的不均质程度 (材料缺陷或因加工产生缺陷) 不同而异, 如图2所示 若在硬脆材料 (如陶瓷、硅单晶等) 表面用金刚石刃头划个刻痕, 硬脆材料则发生脆性破坏, 在材料表面残留无数微裂纹。图3所示的是由压入所引起的变形破坏范围的模型 当加工尺度达到纳米级时, 会产生一系列介观物理现象, 如:小尺度效应、量子尺寸效应等, 此时再用宏观的切削原理来描述加工过程和各种介观现象, 解释表面形成机理已力不从心, 必须用分子动力学、量子力学、原子物理等近代基础理论来研究这一加工过程, 进而建立纳米级加工过程的理论, 指导纳米级超精密切削加工实践。分子动力