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直流辉光放电正柱区轴向不均匀性的实验研究 0 等离子体表面改性 有一篇关于离子中双稳或多稳定现象的文章，其中报告了具有磁干燥性的离子装置或工作在较低（例如10-2pa和10-1pa）下的放电装置。具有长正柱区的直流辉光放电等离子体可用作高分子材料表面改性的等离子源,这种等离子体一般工作在几帕至几百帕,对这种等离子体的双稳态现象未见报道。这里所谓的双稳态现象是指在同一个气压下,有两条不同的放电伏安特性曲线或在同一个放电工作电流下有两条不同工作电压和工作气压间的关系曲线即放电工作电压与放电流或工作气压之间有滞后效应。本文就这方面做些初步的实验研究。 1 电极形貌、抽气口、气 实验装置如下:放电玻璃管内径10cm,长度135cm,电源为直流电源(串联一限流电阻),阴极为平板形铝电极或空心阴极,阳极为平板形铝电极。电极间距离为110cm。抽气口设在俈阳极一端,进气阀设在俈阴极一端,抽气泵为2X Z-4型真空泵,抽气速率为4L/s。本装置的本底真空度为3Pa。放电试验工作气体为空气、氮气、氧气、氮氧混合气(N2:O2=1:1)、氩气。空气的试验气压其余气体试验气压 30～300Pa。 2 正柱区轴向不均匀性的特征特性 试验气压P=3～300Pa(材料表面改性一般使用的气压范围)。 (1)当气压P约在3～8Pa时(以下几个气压界限都不是十分明显,都是一个逐渐过渡的过程),正柱区有许多较密的辉纹在跳动,但电流表读数没有跳动。此时放电伏安特性曲线有出现双稳态现象,图1表示P=6Pa时的伏安特性双稳态曲线。 (2)气压在10～30Pa时,直流辉光放电正柱区基本上是均匀的,此时放电伏安特性曲线看不出有明显的双稳态现象,图2表示P=10Pa和20Pa时的伏安特性曲线。 (3)气压大于40Pa,大约从50Pa开始,放电正柱区逐渐出现轴向不均匀性,即放电电流较小时俈法拉弟暗区这一边的正柱区较亮,颜色较红,而俈阳极这边的正柱区较暗,颜色较淡。随着放电电流的逐渐增大,正柱区中较亮的部分(俈法拉弟暗区一边)形成一个亮团。电流越大亮团长度越长。电流大到一定程度,整个正柱区被亮团所充满,形成一个均匀的粉红色的区域。关于直流辉光放电正柱区轴向不均匀性问题在另外一篇文章中讨论。气压大于40Pa,不仅出现正柱区轴向不均匀性,而且工作电压与放电电流或工作气压之间出现双稳态现象,具有双稳态特性曲线。 a.工作电压与放电电流之间的双稳态现象。图3～4表示具有铝平板电极、电极距离110cm、空气直流辉光放电中几个有代表性气压下工作电压与放电电流之间的伏安特性双稳态曲线。 当气压大约大于100Pa时,在放电电流较小情况下还会出现放电不稳定现象,即电流的跳跃现象,如P=230Pa时,当电流从15mA上升时,电流会从15mA跳至60mA;当电流下降时从40mA跳至10mA。这种电流不稳定的范围与外电路中直流电源所串联的限流电阻R的大小有关,限流电阻大,电流跃变的范围小,限流电阻小跃变的范围大。电流不稳定的范围还与气压有关。气压越大,不稳定段的范围越大。气压小,不稳定段的范围也小。图中曲线是在R=8KΨ时做出的。 b.具有空心阴极时伏安特性曲线的双稳态现象。 空心阴极是在直径约8cm,长约10cm的圆柱体铝块上从圆形的表面上垂直钻若干个直径为6mm深55mm的小孔。阳极为铝平板电极。阳极到空心阴极前端面间的距离为110cm。图5为P=70Pa和130Pa时的伏安特性双稳态曲线,图6为P=40Pa和100Pa时空心阴极情况下的伏安特性双稳态特性曲线。 (c)在平板电极条件下,当工作电流一定时,工作电压与气压之间也有滞后效应,也有双稳态现象。图7为工作电流I=100mA时工作电压U与气压P之间的双稳态曲线。 3 电源外电路中双稳态特性 氮气直流辉光放电正柱区呈桔红色。试验中发现,无论工作电流大小,气压高低,其正柱区都是均匀的用肉眼看不出其不均匀性但其工作电压U、工作电流I和气压P之间也都有滞后效应,即都有双稳态现象。图8为P=70Pa和130Pa时工作电压U和工作电流I之间伏安特性的双稳态曲线。 从曲线中可以看出曲线斜率很陡,因此电源外电路中必须串联一个很大的限流电阻或用具有陡降外特性的电源才能使工作点稳定。从曲线中还可以看出在试验的几种气体中,同样情况下,N2的工作电压最高。 4 伏安特性双稳态曲线 氧气直流辉光放电正柱区几乎无色,因此无法用肉眼观察其均匀性,但是放电的伏安特性仍有双稳态现象。图9为P=130Pa时伏安特性双稳态曲线。从曲线可以看出曲线很平,因此电源所串联的限流电阻可以较小。曲线中还可以看出试验的几种气体中,同样情况下,O2的工作电压最低。 5 正柱区的颜色 氮氧混合气(N2:O2=1:1)的直流辉光放电正柱区颜色比空气浅。情况与空气的类似。但是这种气体的双稳态最明显