基于泰曼-格林干涉仪的光学均匀性检测方法.docxVIP

基于泰曼-格林干涉仪的光学均匀性检测方法 0 生活质量分析的方法 晶体薄膜广泛应用于光学系统的光学系统中。由于高度赞扬的需要，光学系统对其光学均匀性的要求非常高，光学均匀性是晶体分类的参照。由于前后表面平行度的特点，导致晶体薄膜的高度标准。 目前, 高准确度定量测量光学均匀性的方法主要有全息法、折射率液法、样品翻转法和绝对测量法.全息法是利用全息干涉的原理, 对被测样品前后面以及后反射面的光波进行纪录并再现分析, 可以计算出被测样品的折射率分布.该方法缺点是操作复杂、测量周期长.折射率液法是将被测玻璃表面涂敷折射率与被测样品的折射率相近的折射率液, 然后夹在两块面形很好的标准平板之间, 置于斐索干涉仪的参考面和标准平面之间, 通过对得到的干涉图进行分析, 计算折射率分布.这种方法能够精确计算出折射率的分布, 但是折射率液的使用很不方便, 而且部分晶体材料表面不允许涂抹折射率液.样品翻转法是分别测量出被测样品前后表面对波前的影响, 并从透射波前中将它们扣除, 就可以消除面形对测量结果的影响, 但无法扣除系统误差.绝对测量法可以消除样品面形及系统带来的误差, 是目前定量测量光学均匀性准确度最高的方法, 也是在高准确度测量光学材料光学均匀性时使用最广泛最方便有效的方法.绝对测量法要求被测样品的前后面有一个楔角, 以避免两个面的反射光产生干涉混叠.因此对于前后表面平行度很好的光学材料, 如晶体薄片和平行平板玻璃, 绝对测量法无法测量其光学均匀性.目前, ZYGO公司生产的变波长干涉仪可以解决测量平板型光学材料的均匀性的问题,但是仪器价格昂贵, 尚未广泛应用. 本文以测量平行平板玻璃为例, 在绝对测量法原理的基础上对其进行改进, 提出了利用短相干光源在泰曼-格林干涉仪上有效解决此问题的方法. 1 测试原理 1.1 织物上织物的干涉图测量 如图1, 经过四个步骤的测量得到四幅干涉图, 分别是:干涉仪后反射面反射的光和参考光干涉得到干涉图;被测样品放入参考面和系统后反射面之间, 干涉仪后表面反射光和参考光干涉得到的干涉图;参考光和被测样品前表面反射的光干涉得到的干涉图;参考光和被测样品后表面反射的光干涉得到的干涉图.图1也可等效成泰曼-格林干涉仪的光路. 如果设A、B、C分别为待测样品前表面、待测样品后表面以及干涉仪后反射面的面形误差,S为干涉仪系统带来的误差,Δ是由于待测样品折射率不均匀造成的波前偏差,n0为待测样品的名义折射率,d为样品名义厚度, 那么由图1中的四步测量的波差分别为 M1(x,y) =2C+2S(1) M2(x,y) =2 (1-n0)A+2 (n0-1)B+2Δ+ 2C+2S(2) M3(x,y) =2A+2S(3) M4(x,y) =2 (1-n0)A+2n0B+2Δ+2S(4) 由式 (1) ～ (4) 可以得到由于折射率不均匀性引起的波差为 Δ(x,y) =[n0(M2-M1) - (n0-1) · (M4-M3) ]/2 (5) 被测样品的折射率不均匀分布为 Δn(x,y) =[n0(M2-M1) - (n0-1) × (M4-M3) ]/2d(6) 由于式 (6) 中包含了干涉仪和被测样品的面形误差, 因此降低了对待测样品和系统面形的要求, 能达到很高的准确度.这种测量方法为了区分开被测样品前后表面反射所产生的干涉图 (第3步和第4步) , 要求待测样品前后面必须有一个楔角.在实际测量时, 对于前后表面平行度很好的待测样品, 用该方法就不能有效的区分开由前后面反射生成的干涉图, 进而就无法测量其光学均匀性. 为了解决待测样品前后表面的反射光干涉混叠的问题, 引入相干长度较短的钠光作为光源, 一般认为钠光的相干长度小于1 mm, 这样必须控制被测面在零光程差附近很小的范围内才能采集到对比度良好的干涉图, 测量在泰曼-格林干涉仪上进行. 如图2, R是参考镜, C是后反射镜, T为被测样品, A、B分别为T的前后表面; H为分光镜;S为钠光灯;L1、L2为透镜.改进后的测量步骤为: 1) 光路中不放入T, 调整R改变参考光路的光程, 使面C处于零光程差位置 (零光程差位置干涉图对比度最好) , 此时采集到面C的反射光和参考光相干涉的条纹图; 2) 如图中位置放入T, 略微调整R增加参考光路的光程, 直到得到清晰的干涉图, 此时C处于零光程差位置, 得到光路中放入被测样品时, 面C的反射光和参考光相干涉的条纹图; 3) 调整R减少参考光路的光程, 使B面处于零光程差位置, 由于钠光的相干长度很短, 小于被测样品的厚度, 此时面A反射的光就不和参考光相干涉, CCD采集到的就是面B和参考光干涉的条纹图; 4) 调整R, 使面A处于零光程差位置, 同理得到面A和参考光干涉的条纹图. 利用光源相干长度短的特点