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微法玻璃镀膜技术研究 平板玻璃保护液是玻璃表面处理的方法之一。玻璃的表面处理,是指通过一定的工艺方法,对玻璃表面的光学性能、电(磁)性能、热性能、化学性能、机械性能和装饰性能等的改变。玻璃的表面加工、表面改性和表面镀膜,是玻璃表面处理的重要方法。玻璃的表面镀膜,目的是改变玻璃表面性质和赋予玻璃新的功能,以增强或增加玻璃本体的使用性。玻璃表面镀膜方法很多,各有其特点和适应性。玻璃的微法镀膜技术是玻璃镀膜方法的一种,是后起的镀膜技术,并有国家知识产权保护。笔者在实践的基础上,从以下5个方面与相关学者商榷阐述微法玻璃镀膜技术。 1 玻璃普遍的关注和研究 玻璃的镀膜,是玻璃表面处理中的重要方法,并越来越多的引起玻璃同行和相关学者的关注和研究。镀膜方法的发展和完善,业已成为功能玻璃研发的亮点。 1.1 表面改性法 玻璃表面处理方法可分为3大类:表面加工、表面改性和表面镀膜。 以蚀刻和研磨为主的表面处理法,称为表面加工法;以电解扩散、离子交换、液相处理和气相处理而进行的电解渗透、离子扩散交换、溶出和化学反应进行着色、增强和“富硅”的表面处理法,称为表面的改性法;以物理气相沉积、化学气相沉积、微法涂镀、化学喷涂、醇盐水解和金属盐液还原等表面处理法,称为表面镀膜法。 1.2 玻璃表面的膜形成 1 玻璃表面薄膜的分类 依镀膜中是否发生化学反应,可分为物理镀膜和化学镀膜;依使用镀膜介质的形态,可分为干法镀膜和湿法镀膜;依镀膜介质与玻璃表面结合状态,可分为覆盖沉积镀膜和渗入镀膜;依物质量的增减变化,可分为减量镀膜和增量镀膜;依镀膜时的温度,可分为热镀膜和冷镀膜等。 2 膜质的制备 依据镀膜原理可分为:非电解镀膜;水解镀膜;化学喷涂镀膜;化学气相沉积镀膜;物理气相沉积镀膜;微法镀膜等。 非电解镀膜,是将金属盐溶液,通过还原作用,在玻璃表面形成金属膜的方法。 水解镀膜,是用金属醇盐有机液,在高温下水解转为金属氧化物膜的方法。 化学喷涂镀膜,是将金属盐(无机或有机物)液通过喷枪雾化发生热分解和氧化反应生成金属氧化物膜的方法。 化学气相沉积镀膜,是将无机或有机金属化合物的蒸气,进行分解或化和形成金属或金属氧化物、氮化物、碳化物和硼化物等的方法。 物理气相沉积法,是利用真空蒸发、溅射形成金属或化合物的方法。 不同的镀膜方法,适宜不同的镀膜要求。同一种膜质可用不同镀膜方法来实现。有的镀膜方法(如微法等),也可实现多膜层和多物质的镀膜。 2 微法玻璃膜技术 2.1 微法薄膜的基本原理 微法玻璃镀膜技术,属于化学镀膜方法;是利用介相理论微相体概念而创立的电子应用技术镀膜方法,是一种适应性很强的镀膜方法。 从反应物的宏观形态来讲,微法使用的镀膜介质,既不是固相、液相,也不是气相,而是一种介相,其分子簇准直径可达10 μm以下。这样的介质,在气相载体中的状态,类似于气溶胶和干雾的状态,很容易在玻璃基板上形成层流体,可在较宽松条件下,较好地与玻璃表面接触而键合、成膜。 微法镀膜技术,在成膜原理上与化学喷涂镀膜、化学气相沉积镀膜和溶胶凝胶镀膜法有相似之处。所不同的是反化学喷涂法使用的是毫米级夜相分子簇;化学气相沉积法使用的是纳米级气体分子;而微法使用的是微米级雾态气溶胶分子簇,简称微相(介相)态。 微法镀膜技术,是在几种镀膜方法基础上发展起来的,吸收了溶胶凝胶法化学反应的气氛稳定性、气相沉积法的均匀性、溅射法的电磁控制性、喷涂法的简易性,然后采用电声、机械声和声纳相结合的激励方法,用特制设备来实现的。工艺流程如图1所示。 微法镀膜技术使用的专用设备,主要包括反应器、贮液器、介相器、微相处理器、集微相器、介入器和分布器等。微法镀膜设备,主要由不锈钢材质和电子器件组成。 微法镀膜技术使用镀液(称之为前驱液)由介质、助剂和水组成。反应器是镀膜玻璃前驱液的反应釜。介相器是液相介质进行介相化处理的专用电子设备。微相处理器是介相体再处理设备,可将镀液转化为微相体。处理后的镀液基本上达到玻璃镀膜时微相体形态要求。在特定条件下,使微相体“纳相化”,再与玻璃表面反应、键合、成膜。介入器是对微相介质进行活化处理的设备,是为了适应不同功能膜厚度要求而设置的,并对微相处理器处理后的雾状气溶胶进行活化,以提高反应介质的活性,有利于膜层的形成。分布器是反应介质在热玻璃基板上方的分布设备,用它的特殊结构来构建介质均布的介质层,同时又是一种具有均布“补偿”的专用设备,以保证介质反应、膜层厚度及均匀性。 2.2 反渗透ro多聚改性玻璃聚酰胺 1)工艺简单易行,适应性较强,镀膜温度范围较大(300～600 ℃),便于平板玻璃厂及加工玻璃厂在线和离线实施。 2)一种工艺,多种产品,可实现多种镀膜玻璃品种的轮换生产。 3)不使用易燃易爆的化工原料,环保、安全。 4)设备造价低、原料成本低、运行成本低、能耗低。