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金刚石膜及类金刚石如果膜在遥感探测中的应用 1 类金刚石膜的增透效果 钻石膜和类钻石膜（cd）具有硬度高、弹性模量大、系数小、化学稳定性好、宽光谱渗透性高、光学带衬底宽度和抗激光损伤阈值高等优点。可以作为高品质的光学元件数据库。由于sp3键没有偶极矩,金刚石具有少见的宽光谱透过特性。与金刚石膜相比,类金刚石膜还具有制备温度低、表面光滑、折射率在一定范围内可调(1.6~2.9),易于实现对硅、锗等材料红外增透等优点。无氢类金刚石膜中缺少C—H骨架,因此不存在C—H键的伸缩振动在3.4 mm处所引起的吸收峰,所以更适合应用于红外光学元件。因为金刚石膜的折射率为2.4左右,类金刚石膜的折射率为1.6~2.6,所以对于折射率越大的衬底,增透效果越好。例如,对于Zn S,Zn Se,Ga As,Si,Ge,金刚石膜和类金刚石膜对它们的增透效果依次递增。 自1971年Arserberg等首次报道了用离子束沉积技术(Ion Beam Deposition,IBD)制备出类金刚石膜以来,国际上就掀起了金刚石膜和类金刚石膜研究的热潮。目前,国外金刚石膜和类金刚石膜研制单位有美国的Raython公司、Norton公司、瑞典的Element Six公司、英国的皇家信号和雷达研究所、巴尔和斯特劳德公司、英国的De Beers公司、澳大利亚的监视技术研究所和德国Fraunhofer研究所等。国内的研制单位有昆明物理所、深圳雷地公司、华中光电技术研究所、北京科技大学、西北工业大学、复旦大学、北京工业大学、兰州物理所、中国科学院金属研究所、华北光电技术研究所、上海大学、南京理工大学、西北大学、西安工业学院、浙江大学等。 光学级金刚石膜对成膜的质量要求很高,尤其要具有高的透明度、大面积和均匀性。光学级金刚石膜包括自支撑生长的厚膜(大于几百微米,仅能用化学气相沉积法(Chemical Vapor Deposition,CVD)生长,又称金刚石窗口)和在光学衬底上生长的薄膜(小于几十微米)两种。目前国外的光学级金刚石膜,几乎所有的物理化学性能都可以和最高质量的天然Ⅱa型宝石级金刚石单晶相媲美,唯有机械性能(如断裂强度)尚有一定差距。 金刚石膜和类金刚石膜已成功地应用在很多光学材料表面,包括硅、锗、硫化锌、玻璃、石英玻璃、Mg F2,Hg Cd Te,KCl等。国外已相继应用在太阳能硅电池、高功率CO2激光器窗口、潜望镜红外窗口、陆军用瞄准具红外窗口、飞机前视红外窗口、导弹头罩窗口和宇航探测器等。 目前,沉积金刚石膜和类金刚石膜的方法大致可分为两大类,即物理气相沉积法和化学气相沉积法。物理气相沉积法是用高能粒子轰击靶物质(石墨),与靶表面原子发生碰撞,结果把部分靶表面原子或原子团簇蒸发出来,沉积在衬底上形成类金刚石膜。例如磁控溅射、离子束溅射、射频溅射、直流溅射和脉冲激光沉积法等。CVD是在高温条件下通过碳的氢化物、卤化物、氧化物等的分解、聚合、氧化、还原等化学反应过程,在衬底上形成类金刚石膜的方法。例如热丝CVD法、火焰燃烧合成法、等离子体CVD法(包括直流等离子体CVD法、射频等离子体CVD法、微波等离子体CVD法和直流电弧等离子体喷射CVD法等)。CVD法对衬底温度要求较高,至少在400℃以上,一般在600~1000℃之间。 2 钻石膜和类钻石膜的光学应用 2.1 天然金刚石窗口 金刚石是唯一的一种综合了透光性、耐热冲击性,并对水和固体颗粒冲击以及化学腐蚀高度耐久性的材料。光学级自支撑金刚石膜可以承受超音速飞行时高速气流、雨滴和尘埃的冲蚀以及温度的骤变,是钝头体飞行器头罩窗口的理想材料。瑞典的Element Six公司、美国的Raython公司、Norton公司、英国的De Beers公司、德国Fraunhofer研究所已有能力制备大面积光学级金刚石自支撑膜窗口和球罩。图1给出了一个厚度为150 mm的高质量CVD金刚石自支撑膜的透射谱。可以看到,金刚石自支撑膜在可见到远红外的宽波段范围内透明。然而,金刚石在2158cm-1处有一个较明显的吸收峰,此处吸收系数为最大,达到14 cm-1。而且,自支撑金刚石膜只能用CVD法制备,难免要含有氢,氢较多时还会因C—H键的伸缩振动在3.4 mm处产生吸收峰。 美国NASA研制的先锋号金星探测器就采用了一个直径为18.2 mm,厚度为2.8 mm的天然金刚石窗口。利用金刚石极佳的导热性能和极小的吸收系数,还可用金刚石自支撑膜替代砷化镓、硒化锌作为高功率CO2激光窗口。美国通用公司将金刚石膜做成大功率激光窗片,可承受高达200 k W的CO2激光输出。1995年,复旦大学沈元华等研制出通光口径为4~8 mm,窗口厚度为0.4~2.0 mm的自支撑多晶CVD金刚石窗口。该窗口在150~1550 e V波段具有良好的透射率