坡莫合金压磁传感器二维建模方法研究.docxVIP

坡莫合金压磁传感器二维建模方法研究 0 莫合金压磁传感器结构设计 铬、铁或金属丝的磁导率是理想的压磁传感器磁导率的25倍。莫氏合金的磁导率是硅钢磁导率的25倍。其饱和磁感应强度低于硅钢，显著高于硅钢。用坡莫合金制成的压磁传感器的灵敏度将远大于用硅钢片制成的压磁传感器的灵敏度。国内对硅钢应用于压磁传感器的研究较多, 而对坡莫合金应用于压磁传感器的研究较少。鉴于此, 本文在坡莫合金压磁传感器结构设计领域进行基础性研究, 利用有限元分析软件SSAP93, 以应力面积比为判据, 对不同尺寸形状的传感器进行对比分析计算, 最终确定较优的坡莫合金传感器的结构与尺寸。由于压磁传感器的相对磁导率与磁弹性材料的磁导率成正比, 因此选用坡莫合金中磁导率较高的牌号为1J79的材料作为传感器的磁弹性材料。 1 应力应变传感关键技术 目前常用的坡莫合金压磁传感器由片状磁性材料黏叠而成, 见图1。其原理是在片状磁性材料上冲有互相垂直的1、2、3、4四个孔, 孔1、2间绕有励磁绕组W12, 孔3、4间绕有测量绕组W34。孔1、2、3、4把传感器分成a、b、c、d四部分, 每部分具有相同的磁导率, 如图1a所示。在无外力作用条件下, W34交链无磁通通过, 如图1b所示, 不产生感应电势。当对传感器施加作用力F时,F越大, W34交链的磁通越多, 如图1c所示, 感应电势越大。经变换处理后, 作用力F可用电流或电压来表征。 图1所示结构的优点在于:无外力作用时传感器输出电压为零, 测量时电桥无需调零, 简化了电路, 但是该传感器无法量化计算传感器所受压力与其磁导变化率之间的关系。本文研究的目的即是获取坡莫合金压磁传感器所受压力与其磁导变化率之间的量化关系, 为传感器的设计提供依据。 本文对上述坡莫合金传感器结构进行了改进:为消除黏接胶对传感器重复性的影响, 所设计的传感器坡莫合金片与片之间并未黏接, 只在其侧面用胶固化;为减小片间气隙对传感器特性的影响, 坡莫合金片两侧用不锈钢夹板夹紧。整个传感器实际是由坡莫合金和钢板两种材料构成的, 因此, 进行有限元分析时, 将整个传感器看作是一定厚度的坡莫合金三维实体或板壳单元是不合理的, 将传感器视为二维的坡莫合金平面单元是一种比较合理的建模方法。SSAP93有限元计算软件认为二维平面单元的受力与变形仅限于二维空间, 这与坡莫合金的实际变形情况相符——各坡莫合金片通过不锈钢板夹紧, 不锈钢的刚度远大于坡莫合金的刚度, 因此实际坡莫合金片的变形只局限于二维空间。于是, 所设计的传感器的有限元分析问题便转化为单一材料的有限元分析问题, 降低了问题求解的难度。 2 有限电压分析 2.1 应力面积比与磁阻变化量的关系 应力面积比即中柱或侧柱平均应力与中柱或侧柱面积的比值。选用应力面积比作为有限元应力分析的计算指标是因为压磁传感器的磁阻变化量与所受应力成正比, 与磁路面积成反比, 即应力面积比反映了传感器磁路磁阻的变化量。当受压应力时, 磁阻增大, 磁阻变化量为正;受拉应力时, 磁阻减小, 磁阻变化量为负。磁阻变化量为 式中, ΔRm为压磁传感器的磁阻变化量;S为传感器磁路面积;k为比例系数;σ为传感器所受应力。 当σ为压应力时式 (1) 取负, 为拉应力时取正。 本文利用有限元分析软件SSAP93, 以应力面积比为判据, 针对不同中柱与侧柱尺寸的传感器, 探求外部压力对其中侧柱磁阻变化量的影响。 2.2 侧柱应力-dmpa模型 表1所示为不同尺寸、形状的传感器敏感元件有限元分析边界条件, 图2为不同尺寸、形状的传感器敏感元件结构图, 图3为图2对应元件的应力分布图。 研究计算时, 中柱与侧柱的平均应力以各应力与其所占中柱或侧柱面积的百分比的加权和表示。如图3a所示, 侧柱有两种应力-5MPa和25MPa, 其所占面积各为50%, 则其平均应力为-5MPa×0.5+25MPa×0.5=10.0MPa。有限元分析结果如表2所示。 可以看出:侧柱尺寸增大 (比较图3a和图3b) 使中柱与侧柱应力面积比的比值减小 (由型号Ⅰ的8.1减小为型号Ⅱ的7.8) , 因此, 增大传感器侧柱面积不利于实现等效;中柱尺寸减小 (比较图3c和图3a) 则中柱与侧柱应力面积比的比值增大, 但中柱太细将使其承载能力大幅降低, 因此本文侧柱尺寸选为Ⅰ型。通过相同中侧柱尺寸、不同形状的传感器的计算结果对比, 可以看出:Ⅵ型中柱与侧柱应力面积比的比值大于Ⅰ、Ⅳ、Ⅴ型的相应值, 因此, 所设计的传感器形状为Ⅵ型。 3 磁路设计用于压力传感器的磁路设计 3.1 通过hb来设计传感器的磁路,对于误差的传感器进行磁传感以及测点的确定 在设计传感器磁路参数时, 以饱和磁场强度HB作为设计依据。由于所设计的传感器是由多片0.05mm厚的坡莫合金片叠加而成的, 热处理