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用于衍射的多缝衍射分光光度计

1微透镜的焦距

随着微光学的发展，基于标量衍射理论的微透镜具有其自身的衍射效率高、工作范围宽、微型化程度高等优点。广泛应用于光和光的结合领域。尤其是微透镜阵列元件的广泛应用和微细加工工艺的提高,使微透镜及其阵列元件的光学测试成为研究的热点。焦距作为微透镜及其阵列元件的重要参数,其精确测量将直接影响微透镜光学系统的性能,常见的测量微透镜焦距的方法有:转角法、剪切干涉法、放大率测量法、焦距仪测量法和哈特曼波前传感器测量法等。

对于相对口径较小的微透镜及其阵列元件,其焦深较大,用上述各种测量方案[2,3,4,5,6,7,8,9,10,11]不易对微透镜的焦距进行精密测量。在光栅加工技术日益成熟及光栅衍射效率日益提高的基础上,本文利用光栅多缝衍射原理,结合清晰度函数的定焦原理,对相对口径小的微透镜焦距进行精确测量,实验表明这一方法对相对口径较小的微透镜焦距具有较高的测量精度。

2测量原理

2.1光栅误差测量原理

传统的转角法测量透镜的焦距需要转动光管或透镜改变入射光角度,而且一般需要两次测量确定光斑的移动量。由于受到机械转动装置和测角装置的影响,不能满足相对口径小的微透镜焦距的精密测量。为提高转角法测量微透镜焦距的测量精度,利用光栅多缝衍射的原理,计算光栅的0级和+1级衍射光的角度,结合Matlab图像处理知识确定各级衍射光的中心距,从而完成对微透镜焦距的测量,如图1所示。

根据夫琅禾费衍射公式,平行光通过光栅后,光栅后各点的光强由单缝衍射和多缝干涉两个因子决定。设光栅的周期为d,缝宽为b,接受屏的坐标轴设定为z轴沿光轴方向,y轴沿光栅刻线方向(垂直图像面),x轴垂直光栅刻线方向,则由单缝衍射在任意点P1(x,y)处产生的光强为

E=E0sinββ,(1)E=E0sinββ,(1)

式中β=kb2sina?E0β=kb2sina?E0为轴上点P0的复振幅。相邻两缝对轴外任意点P1的作用相当于两个单缝衍射光在P1点的干涉,由于相邻两缝对点P1的光程差Δ=dsina,相位差为δ=2πdsinaλδ=2πdsinaλ,两单缝衍射的合成光强为

E=E0sinββ+E0sinββexp(iδ).(2)E=E0sinββ+E0sinββexp(iδ).(2)

则对于N缝衍射分析,点P1的光强可看成是N个单缝的衍射光干涉的结果,其合成复振幅为

E=E0sinββ+E0sinββexp(iδ)+?+E0sinββexp[i(Ν-1)δ]=E0sinββsin(Νδ2)sinδ2exp[i(Ν-1)δ],(3)E=E0sinββ+E0sinββexp(iδ)+?+E0sinββexp[i(N?1)δ]=E0sinββsin(Nδ2)sinδ2exp[i(N?1)δ],(3)

因此P1点的光强为

Ι=Ι0(sinββ)2[sin(Νδ2)sinδ2]2.(4)I=I0(sinββ)2[sin(Nδ2)sinδ2]2.(4)

当满足dsina=mλ时,(4)式出现极大值。图1中,m=0时,轴上点P0为0级极大值点位置;m=1时,轴上点P1为+1级极大值点位置。显然被测微透镜的焦距计算公式为

f′=h/tana≈hdλ,(5)

式中f′为被测微透镜的焦距;h为0级和+1级衍射光斑的中心距;a为光栅的+1级衍射角,a满足光栅方程dsina=λ。

利用光栅测量相比较传统的转角测量方法,由于通过光栅周期和测量光源的波长直接计算转角,无需转动光管或透镜,测量效率和精度大大提高,但光栅参数(主要是光栅周期和占空比)将影响测量结果,需要对光栅参数产生的影响进行分析。

光栅周期直接决定衍射角a大小,因此测量前需要对使用的光栅周期进行测量。由于现代微细加工技术的提高,测量过程中使用的光栅周期较大(一般为20～50μm),光栅周期误差较小,一般可控制在0.5%范围内。

光栅的占空比主要影响±1级衍射光的衍射效率,根据(4)式分析可得出普通郎奇光栅(占空比50%)±1级衍射光的相对强度:

n1=Ι1Ι0=(sinα1α1)2=sin2(π2)(π2)2=4π2=0.41.(6)

即1级衍射光强为0级光的41%,由于微透镜焦距测量只需测量出两个衍射光斑中心距,所以1级和0级光斑的光强有差异对CCD测量结果影响较小,分析表明利用光栅多缝衍射测量微透镜焦距是可行的。

2.2波长和光斑中心距

由焦距计算公式(5)式可知,焦距的测量主要由光栅周期、测量波长和光斑中心距这三个参数决定。因采用He-Ne激光器作为光源进行测量,激光波长基本保持在632.8nm不变,所以实验的测量误差主要来源于两个方面:测量光栅周期误差和光斑中心距测量