可延展柔性超声贴片的制备及其应用.pdfVIP

摘要

无线能量采集是一项新兴电子技术，可集成应用到传感监测、疾病诊断、干预

治疗等生物医学领域。基于压电超声贴片实现无线能量采集具有显著的优势，但其

广泛应用仍面临着多种问题，其中小型化及简易化制备是无线能量采集系统的主

要挑战。本论文是基于压电效应，将超声传播时的机械能转换为电能，通过压电单

元的参数配置、力学介入的柔性可延展结构设计以及加入电路设计调控接收信号

制备可与人体共形贴附的小型化、可延展柔性超声贴片，为小型电子设备供能及人

体姿态传感提供可行性方案。

本论文从可延展柔性超声贴片的工作原理入手，设计了超声波能量分布测试

实验，并进行了力学以及压电超声仿真。基于仿真结果进行了多通道相调柔性超声

贴片的结构设计，通过多压电单元串联测试、多通道耦合对比测试理清了器件的变

形模态-耦合输出性能的关键机制，而确定了相调电路的优选参数，优化了器件的

输出性能。进一步从优化器件体积，简化制备流程的角度，设计了多点位整流柔性

超声贴片，通过整流器对压电单元的信号处理后进行耦合，从而提升器件的整体输

出性能。在多物理场仿真结果的指导下，通过激光烧蚀可控图案化、多层对准焊接、

柔性封装等工艺，实现了压电单元、整流单元、电极材料、柔性基底的集成制备，

主要结论如下：

（1）压电与调控电路单元参数配置及力学结构设计使得输出和形变适应性能

协同提升：

全互联式的器件具有信号失真、输出效果差的问题，加入相调电路后的信号稳

定性和整体输出性能得到了有效的提升，在频率2MHz的超声下可以得到电压2

V左右的稳定电信号提升。并且通过力学结构设计，使器件具有了更好的弯曲和拉

伸的形变适应性。对于多点位整流器件，采用整流器对单个压电单元的信号进行整

流以解决信号耦合效果紊乱的问题，并设计了具有延展性结构的蛇形图案器件，并

在此基础上优化了器件的多方向延展性设计出螺旋形图案器件。螺旋形图案器件

和蛇形图案器件在频率2MHz的超声下可以得到4V左右和6V左右的稳定电压

提升。螺旋型图案器件的向内弯曲适应能力略差于蛇形图案器件，在向外弯曲上螺

旋形图案器件表现更好，在弯曲程度最大时只下降为初始的65%。在X方向上和

Y方向上，螺旋形图案器件表现出很好的拉伸适应性，且在一定范围内具有线性增

加的趋势。多通道相调器件和多点位整流器件通过电路调控和力学结构设计获得

了电学输出能力和形变适应性能协同提升。

（2）基于可延展柔性超声贴片可实现多场景供能及人体姿态监测：

本论文实现的可延展柔性超声贴片具有长时间进行稳定高效的无线充电的能

力，展示出在为微型电子植入设备的无线充电优势。同时具有对于形变的灵敏度，

可通过输出的变化对器件的形变程度进行判断。通过对器件在14天运行期间的输

出信号进行监测，器件输出的波动范围保持在一个相对较小的区间内，展现出了良

好的长期运行能力。器件通过组织传播结果衰减为通过水介质传播结果的87%，

蛇形图案器件相应的测试结果为79%，器件通过人体组织的能量收集效果良好，

衰减小，信号稳定。并且器件具有良好的温度稳定性，在10分钟的工作时间内温

度上升不超过10℃，始终保持在安全温度范围内。根据器件的性能优势在植入式

设备供电和人体健康检测方向的应用上进行了相关的研究，器件可以在复杂的人

体组织中稳定地对植入设备进行无线充电。同时器件与嵌入式设备构成的监测系

统可以稳定地对使用者的颈椎曲度进行监测预警，验证了器件为植入式设备供电

的可行性并以颈椎曲度预警为例验证了器件在健康管理方向的可行性。

关键词：压电能量收集器，柔性电子，健康监测，无线能量传输，超声贴片

ABSTRACT

Wirelessenergyharvestingisanemergingelectronictechnologythatcanbe

integratedintovariousapplicationsinthebiomedicalfield,suchassensing,disease

diagnostics,andtherapeuticinterventions.Utilizingpiezoelectricultrasonicpatchesfor

wirelessenergyharvestingofferssig