手机镜头马达六自由度测量系统研究.pdfVIP

摘要

作为信息时代的超级移动终端，智能手机至今无可替代，全国手机市场在不

断扩张，其中镜头是各大手机品牌相互竞争的关键领域。手机镜头的高精度音圈

马达可以增强镜头模组的光学防抖性能，极大提升摄影图片的像质。光学六自由

度测量技术可用于测量音圈马达的运动，但目前国内针对手机镜头马达的六自由

度测量系统研究存在空白，华为等国内手机厂商目前主要依靠进口，因此研制国

产化的六自由度测量系统具有重要意义。该领域主要存在的问题包括：难以实现

针对手机镜头马达的高精度、大测量范围的六自由度一体化测量；由于六自由度

测量系统的各个自由度之间会产生信号的相互干扰，带来耦合误差；位置敏感探

测器PSD作为六自由度测量系统的位置探测器，自身存在固有的非线性误差，降

低测量系统的线性度及测量精度。

针对上述问题，本文将开展“手机镜头马达六自由度测量系统研究”，主要

研究内容如下：

（1）开展六自由度一体化测量系统研究。以小尺寸光栅作为靶标，采用共

照明光路，利用0级衍射光，基于激光自准直、光斑成像的原理实现了对TXY、

XY自由度的测量；利用1级衍射光，基于激光三角法原理实现了对TZ、Z自由

度的测量，完成了六自由度一体化测量系统的总体方案设计。根据测量需求，分

别对TXY、XY、TZ及Z测量系统进行了参数设计及器件选型。搭建了一套六自

由度一体化测量系统实验装置，实验结果表明，该系统实现了针对手机镜头马达

的六自由度测量，位移测量范围为±1.0mm，线性度≤1%，定位精度≤9.8µm，

分辨力1.5µm，重复性精度≤1.0μm；角度测量范围为±1.5°，线性度≤1%，定

位精度≤1.3′，分辨力0.2′，重复性精度为≤0.17′。

（2）开展多自由度补偿信号解耦方法研究。采用旋转矩阵进行坐标变换建

立了六自由度测量系统耦合模型，借助耦合模型并采用光线追迹法阐明了系统耦

合关系，为后续提出解耦方法提供了理论依据。提出了多自由度补偿信号解耦方

法，根据耦合关系对各自由度进行先后测量，求解解耦公式并对TZ、Z自由度依

次补偿，实现了六自由度信号解耦，消除系统耦合误差。开展了仿真实验，验证

了解耦方法的有效性。解耦实验结果表明，本文提出的解耦方法能够实现六自由

度测量系统的信号解耦，解耦后X对Z的耦合误差从0.87mm降低到1.4µm，TX

对TZ的耦合误差从3.46°降低到0.28′，其他自由度之间的位移和角度耦合误差

分别保持在3.8µm和0.45′以内。

（3）开展基于LM算法的PSD非线性校正方法研究。分析了PSD非线性误

差的来源及影响，阐明了列文伯格-马夸尔特LM优化算法的原理及优势，提出了

一种基于LM算法的PSD非线性校正方法：预设PSD的校正函数模型并确定初始

参数，采用LM迭代公式来优化函数模型参数，最小化预测坐标值与实际坐标值

之间的误差，完成对校正函数模型的拟合，实现非线性校正。实验结果表明，本

文提出的非线性校正方法，能够精确快速地实现对PSD的非线性校正，PSD的测

量误差从200μm降低到2.8μm，并使TX、TY测量系统的线性度优于1%，提高

了系统的线性度及精度。

关键词：六自由度一体化测量系统；六自由度解耦；PSD非线性校正

Abstract

Asasupermobileterminalintheinformationage,smartphonesareirreplaceable,

andthenationalmobilephonemarketisconstantlyexpanding,inwhichlensesarethe

keyfieldofcompetitionamongmajormobilephonebrands.Thehigh-precisionvoice

coilmotorofthemobilephonelenscanenhancetheopticalanti-shakeperformanceof

thelensmoduleandgreatlyimprovetheimagequalityofthephotographicpicture