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磁性薄膜高频磁导率测量方法及其研究进展
吴卫波，付若鸿，钟智勇，张怀武
(电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都 610054)
摘 要：磁性薄膜广泛应用于信息存储、电磁兼容、磁传感器和微波通讯设备等众多领域，其高频复磁导
率谱的准确测量是磁性薄膜研究中的一个重要课题。目前薄膜材料复磁导率的常用测量方法包括微波谐振腔法、
检测线圈法和传输 ／反射法等。首先简要介绍了谐振腔法和检测线闺法，然后重点介绍了微波频率 (GHz)下磁
性薄膜传输a／．~t法磁导率测量近年来最新研究进展。
关键词：磁性薄膜；GHz；复磁导率；测量
中图分类号：0484．43：TM936．4 文献标识码：A 文章编号：1001．3830(2008)06．0005．04
DevelopmentofM easurementforHighFrequency
PermeabliityofM agneticThinFilms
WUW ei—bo，FURuo-hong，ZHONGZhi—yong，ZHANGHuai-WU
StateKeyLaboratoryofElectronicThinFilmandIntegratedDevices,Universityof
ElectronicScienceandTechnologyofChina,Chengdu610054,China
Abstract：Magneticthinfilmsarewidelyusedinvariousfields，suchasinformationstorage。electromagnetic
compatibility, mang etic field sensors and microwave communication devices．The measurement of complex
permeabilityofthinfilmsatmicrowavefrequencyisna importantproblem intheresearchofma gnetictllinfilms．At
present，theusualmehtods usedformeasuringhtemagneticpemr eabiliyt ofthinfiml sincludesmicrowaveresonant
caviytmehto~pick．uDcoilmehtodandtransmission／reflectionmehtod，nadSOon．Thecavitymehtodnadpick-upcoil
methodwerebrieflypresentedinhtispaperfirstly,nadhtenther_ecentresearchprogressofthemeasurementbasedon
trna smission／reflectionmehtodatGHzfrequencywasfocusedon．
Keywords：mangeticthinfilm； GHz； complexpermeabiliyt；measurement
降低，给测量带来了极大的困难。
1引言
目前薄膜材料复磁导率常用的测量方法主要
磁性薄膜是当前电子信息材料领域研究的热 有：微波谐振腔法、检测线圈法和传输／反射法等。
点l【，2】，已经广泛应用于电子学的各个领域，例如 本文将对谐振腔法、双线圈法作简单介绍，重点介
信息存储、电磁兼容、磁传感器和微波通讯设备。 绍基于平面传输线传输／反射法的最新研究进展。
不同的应用对磁性薄膜提出了不同的要求。对磁性
2谐振腔法
薄膜而言，复磁导率谱是薄膜应用中决定其适用性
的一个重要因素。由于电子电路时钟频率的提高， 谐振腔法
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