改善SnO2气体传感器气敏性能的研究进展.pdfVIP

2012年 第3l卷 第l2期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 5 改善 SnO2气体传感器气敏性能的研究进展 刘 阳，李 勃，姚有为，宋英翠 (清华大学 深圳研究生院 新材料研究所，广东 深圳518055) 摘 要：随着气体检测的广泛应用 ，SnO传感器正引起越来越多的关注。基于对SnO 气敏材料的气敏 机理进行综合性阐述的基础之上，从气敏材料和传感器设计两方面重点分析了SnO气体传感器气敏性能 的影响因素，并着重分析了运用当前纳米技术制备SnO。传感器的研究进展，进一步讨论了SnO 传感器发 展的研究方向与前景。 关键词：二氧化锡；气体传感器；纳米技术；结构设计 中图分类号：TP212．2 文献标识码 ：A 文章编号：1000--9787(2012)12--0005--04 Researchprogresson improvementofgassenstive propertyofSnO2gassensor LIU Yang，LIBo，YAOYou—wei，SONGYing-cui (AdvancedMaterialsInstitute，GraduateSchoolatShenzhen，TsinghIliaUniversity，Shenzhen518055，China) Abstract：Withthewideapplicationofgasdetection，SnO2gassensorattractsmoreandmoreattention．Onthe basisofintroductionofthegassensitivemechanism ，theinfluencefactorsofsensitivepropertyofgassensorare analyzedfrom two aspects，materials and sensordesign．Research progressusing currentnanotechnology to fabricatetheSnO2sensorisfocused．ResearchdirectionnadprospectofSnO2gassensorarefurtherdiscussed． Keywords：SnO2；gassensor；nanotechnology；structuredesign 0 引 言 多晶，常用的理论有3种 J：表面电荷层理论 、接触粒界势 气体传感器应用最为广泛的敏感材料是半导体金属氧 垒理论和能级生成理论。此3种理论都是通过改变敏感元 化物…。而SnO作为半导体金属氧化物 (E =3．6eV)，由 件的电阻从而达到探测气体存在的目的。其中，目前普遍 于其优越的光学、电学以及催化等性能，成为当今研究最深 为业界所接受的是接触粒界势垒理论。接触势垒理论是建 入 ，应用最广泛的气敏材料，并广泛应用于气体传感器 、 立在多晶半导体能带模型的基础上提出的。该理论认为 催化剂 、锂离子 电池 、太 阳能 电池 以及光催化设 SnO气敏材料是 SnO 微粒的集合体，由于粒子接触界面 备 引。 的势垒，当晶粒接触面吸附容纳带电子的气体时，势垒升 尽管SnO。相对于其它材料有着较高的灵敏度和较快 高；脱附时势垒降低。此外，当与气体吸附关系不大时，势 的反应时间等优势，但其应用依旧受到使用温度、水蒸汽 中 垒不产生明显变化。该理论一定程度上也解释了气敏材料 毒以及选择性差等因素的限制。这些限制严重影响了 的气敏选择性 J。 SnO 气体传感器的进一步推广。本文在简要 阐述 SnO 气 2 气敏性能的提高 敏材料的气敏机