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微加速度计结果及应用研究进展 　　摘 要： 介绍了微加速度计的基本原理以及国内外常见的各种微加速度计的结构形式，包括压电式、电容式、扭摆式、隧道式等，分析了这些传感器的基本特点，总结微加速度计发展中存在的一些问题，并提出一些解决关键问题的措施，预测微加速度计未来的发展趋势。介绍了微机械加速度计的基本原理及其分类。重点论述了微机械加速度计的特点和它在民用领域内的不同应用，并对微机械加速度计领城内一些断的进展进行了讨论，指出了微机械加速度计的发展趋势。 　　关键词： 微加速计；结构与系统；应用 　　引言 　　随着微机电系统技术的发展，微加速度计制作技术越来越成熟，国内外都将微加速度计开发作为微机电系统产品化的优先项目，微机械加速度计是最重要的 MEMS 器件之一。微加速度计与通常的加速度计相比，具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、稳定性高、可大量生产等优点。可以广泛地运用于航空航天、汽车工业、工业自动化及机器人等领域，具有广阔的应用前景。 　　1.微加速度计的原理及分类 　　市面上的为加速度计一般是由敏感结构单元和信号处理电路单元，这两部分组成的。微加速度计中的敏感结构单元是用来探测需要探测的加速度信号，并将探测到的信号以电学信号的形式输出表现。信号处理电路顾名思义就是对敏感结构单元输出的电学信号进行处理分析，得出与探测到的加速的信号成正比的电压信号。微加速度计的性能也是由这两个部分共同决定的，其简略结构如图1所示。当加速度信号作用在质量块上时，质量块会发生一定的位移，压缩弹簧。通过测试弹簧的型变量，既可以求出作用在质量块上加速度的大小。通过无力推到可以得出加速度的机械传输表达式： 　　函数表达式中，x是质量块的位移，m；a是外界加速度，m2/s；D 为阻尼因子；M为质量块的质量，kg；wr为共振频率，Hz；Q为品?|因子。 　　质量块的位移（由外部加速度冲击引起）的表达式： 　　从质量块位移表达式中可以看出，加速度所引起的质量位移是通过器件的共振频率决定的。因此，由此可以推到出电容式加速度计的灵敏度表达式： 　　函数表达式中，是空气的介电常数；A是传感正对面积，m2；d0是初始传感间距，m。为了增加微加速度计的使测到的加速度更为准确，则要求提高微加速度的灵敏度，减少噪声对其的干扰。为了满足这些要求，由函数表达式可以看出，当加大电容两极板的面积、增加质量块的质量，减少电容两极板间的距离或者使用弹性系数小的弹簧等都方式实现。 　　根据不同的需求，微加速度计可以分成多种多样。按敏感轴的数量可分为单轴微机械加速度计、双轴微机械加速度计和三轴微机械加速度计；按加工方式可分为微机械表面加工加速度计、微机械体加工加速度计和 LIGA 加工微机械加速度计；按材料可分为硅微机械加速度计、石英微机械加速度计和金属微机械加速度计；按照惯性检测质量的运动方式可分为微型线加速度计和微型摆式加速度计；按有无反馈信号可分为微型开环加速度计和微型闭环加速度计；按结构形式可分为叉指式微机械加速度计、“跷跷板”摆式微加速度计和“三明治”摆式微加速度计；按敏感信号方式可分为微型电容式加速度计、微型压阻式加速度计、微型压电加速度计、和微型隧道电流式加速度计等；按敏感轴的数量可分为单轴微机械加速度计、双轴微机械加速度计和三轴微机械加速度计。 　　2.微加速度计的分类 　　微加速度计的分类方式多种多样，本文着重介绍以敏感原理不同为分类标准得到的分类结果。表 1.1对其特性进行了简单阐述。 　　2.1 压阻式微加速度计 　　压阻式微加速度计是首个投入上也生产的微机械加速度计。它采用压阻监测的方式，即利用压阻效应来检测加速度，一般由质量块、压敏电阻和悬臂梁组成的。质量块和横梁通常采用Si材料。当悬臂梁发生形变时，其固定端一侧变形量最大，因此在悬臂梁固定端一侧布置了压阻薄膜材料。当检测到加速度时，悬臂梁在质量块受到的冲击，在惯性的作用下发生变形，进而压阻膜也发生形变，由于压阻效应电阻值也会发生相应的变化，使压阻两端的检测电压值发生变化，然后通过函数公式推导出电压值与加速度之间的关系，得到加速度值。压阻式微加速度传感器具有接口电路简单、工艺复杂度低、芯片的制作相对容易、能耗低、线性度较好等优点，但由于其温度系数大，对温度比较敏感，因此压阻式微加速度计抗温形差，适合恒温的环境。 　　2.2 压电式微加速度计 　　压电式微加速度计采用氧化锌、石英等作为压力敏感材料，机构与压阻式类似。原理图如图3所示，当压敏材料受到应力的作用时，会发生极化现象，由此得到外部测试到的加速度的大小。当微加速度计在工作状态下，质量块在外加载荷的作用下使悬臂梁发生弯曲，使压电层的上下表面产生电势差，再通过测量此电势差的大小，即可得知外加加速度的大小。为了提高压电式微加速度计