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磁控溅射工艺在柔性纺织材料中的应用 磁控分散法是一种重要的材料表面处理技术，通常用于在材料表面制备纳米薄膜。磁控溅射理论上可溅射任何物质以镀制相应的薄膜, 可以方便地制备无机或有机材料的各种单质或复合纳米薄膜, 是适用性较广的物理沉积纳米薄膜的方法, 常用于沉积各种金属或合金膜、化合物膜、高分子膜。其在工业薄膜制备领域的应用非常广泛, 可制备超硬膜、耐腐蚀摩擦膜、半导体膜、超导膜、绝缘介质膜、磁性膜、光学膜、润滑膜以及其它特定功能的薄膜等 基于基底可以在低温或常温下溅射镀膜这一特点, 磁控溅射技术可应用于纺织品表面改性和镀膜, 利用薄膜的特性使纺织品获得相应的功能性或装饰性。具体而言, 通过选用不同的靶材、工作气体及合适的溅射工艺, 可在如棉 (Cotton) 、涤纶 (PET) 、丙纶 (PP) 、锦纶 (PA) 、聚丙烯 (PP) 、聚乳酸 (PLA) 等不同材质的非织造布、机织布或针织布等结构的纺织品表面沉积形成铜 (Cu) 、银 (Ag) 、铝 (Al) 、钛 (Ti) 等金属、合金、化合物或陶瓷材料、甚至是聚四氟乙烯、聚酰亚胺等高分子材料的单层薄膜或多层复合薄膜, 赋予纺织品导电、电磁屏蔽、防静电、抗菌、隔热、防紫外线、防水疏水等单一或复合功能;或者利用薄膜的光泽和颜色使纺织品更加美观大方、颜色多样、色彩绚丽 本文主要介绍在纺织面料上镀膜的研究情况。从获得的文献资料来看, 利用磁控溅射法在织物面料上镀膜的研究主要是研究薄膜的制备工艺及其优化, 进而研究薄膜的组分、形貌、结构、功能性等, 以及其应用方向。分析发现, 镀制的薄膜都具有单一或多种功能性, 如具有导电、电磁屏蔽、抗静电、抗紫外线、抗菌、防水疏水等一种或多种功能, 归纳如表1所示。 1 采用磁控分散法制备柔性纺织材料的纳米膜的研究现状 1.1 抗静电,电磁屏蔽 利用磁控溅射法在纺织面料上镀制金属或合金薄膜, 是对织物的一种金属化处理, 目的是增加导电、抗静电、电磁屏蔽、抗紫外线等功能。金属化纺织品可制成防护服 (电磁屏蔽、防热辐射、防金属飞溅等) 、遮光节能窗帘、隔热罩、焊工安全屏、管道包扎物、热气球、装饰材料、包装材料、食品微波加热包装袋、电磁波和射频干扰屏蔽材料、红外线反射材料、雷达反射材料、防窃听材料、医用抗菌材料等 1.1.1 菌性、耐磨性 银是导电性和导热性最好的金属, 具有优良的抗菌性、耐磨性。银膜的屏蔽效能可达到50~80d B, 银膜方块电阻可达10 在镀银织物导电性研究方面, 当银膜达到一定厚度时可表现为完全导电 1.1.2 铜薄膜镀铜或镀铜纺织品 铜金属具有良好的导电性、导热性和延展性, 其导电性能和导热性能仅次于银。铜薄膜具有低电阻率、高导热性能等性质, 镀铜织物或镀铜合金织物具有良好的导电性、电磁屏蔽性、抗菌性等功能。 在纺织材料上溅射铜膜, 基底材料结构越致密、表面越连续, 其导电性能越好 1.1.3 金属光泽性和发挥了抗紫外线性能 铝金属具有良好的导电性、导热性、耐腐蚀性, 可以阻氧、阻水、遮光、防紫外线照射, 还具有金属光泽性, 装饰性好。利用磁控溅射法在纺织品表面镀铝薄膜, 可使织物获得导电性、导热性、抗紫外线性等性能。 如在涤纶纺粘非织造布表面制备铝膜, 当镀层厚度达到100 nm时, 样品电阻为5Ω/cm左右 1.1.4 生物基纳米材料 钛金属具有强度高、质量轻、弹性模量较低、耐腐蚀性、易加工成形等特点, 有一定的生物兼容性, 是一种理想的医用植入材料, 如钛金属化疝修补织物应用于修补病灶的膜片、人工皮肤等。 有研究在棉/聚酰胺面料上进行钛金属涂层, 开发具有电磁吸收功能的纺织减振器, 可应用于雷达、无线电通信等方面 1.1.5 薄膜沉积和染色 在涤纶纺粘非织造布表面沉积钴铁 (Co Fe) 合金薄膜, 磁控溅射工艺参数对Co Fe合金薄膜表面形貌的影响很大, 溅射时间的长短、溅射功率的大小对成膜的均匀性有很大影响 利用黄铜 (Cu65/Zn35) 作靶材在涤纶织物上溅射沉积Cu/Zn薄膜, 样品的干湿摩擦牢度达到4~5级, 样品对金黄色葡萄球菌和大肠杆菌均有良好抗菌性 在涤纶织物上沉积铂 (Pt) 薄膜, 镀膜后样品有利于提高对天然染料和合成染料的染色性, 但对天然染料的染色性的提高比对合成染料的明显;铂本身对金黄色酿脓葡萄球菌没有抗菌性, 但镀膜后用天然染料染色的样品具有一定的抗菌性 1.2 能谱分析法 半导体陶瓷薄膜材料如氧化锌、氧化锡、氧化铝等氧化物都有一定的气敏特性, 通过有选择地吸附气体, 使半导体的表面能态发生改变, 从而引起电导率的变化, 以此确定某种气体及其浓度, 可应用于检测氢气、氧气、乙烯、甲烷等气体。对各种气体的气敏陶瓷材料的开发与研究很多, 也有在纺织材料表面溅射沉积化合物陶瓷薄膜的研究, 可以使