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用于钨化学机械抛光的抛光液.doc

用于钨化学机械抛光的抛光液.doc

    用于钨化学机械抛光的抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    5#

    6#

    7#

    8#

    9#

    10#

    11#

    研

    磨

    剂

    硅溶胶（70nm）

    1.5

    1.5

    1.5

    1.5

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    气相二氧化硅（180nm）

    －

    －

    －

    －

    3

    3

    3

    －

    －

    －

    －

    硅溶胶（80nm）

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    2

    10

    5

    0.2

    硝酸铁

    1.2

    1.2

    1.2

    1.2

    1

    1

    1

    2

    0.5

    0.3

    0.1

    稳

    定

    剂

    丙二酸

    0.3

    0.3

    0.3

    0.3

    －

    －

    －

    0.5

    －

    －

    －

    2-磷酸丁烷-1,2,4-三羧酸

    －

    －

    －

    －

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