单晶炉冷却系统的设计与实现-机械工程专业论文.docx

摘 摘 要 万方数据 万方数据 摘 要 单晶硅的生长方式多种多样，目前主流的是区熔法和直拉法两种，但不管 是哪一种生长方法，其对整个单晶硅生长过程的温度要求都是相当严苛的。作 为单晶硅生长最重要的单晶炉，炉内工作温度一般在 1400℃，而单晶炉的炉体 材料一般是不锈钢材料，其耐受温度在 300℃以下，如果炉体长期在大于 300℃ 的高温环境下工作，会由于不锈钢材料的氧化导致炉体表面发黄并生锈腐蚀， 大大缩短炉体寿命，影响企业经济效益。 为了防止炉体工作温度过高，必须对炉体进行冷却。本论文根据某企业单 晶硅铸锭炉对冷却水的要求，结合生产中的各种实际情况，设计了一套基于西 门子 S7-200 系列 PLC 为核心的炉体冷却控制系统对炉体进行循环冷却。整个系 统的核心内容为工艺水冷却水的恒压变频控制，除此之外，给工艺冷却水降温 的冷却塔冷却水、冰机冷冻水的控制以及给厂房降温的空调冷冻水的控制，备 用水恒压变频控制以及三级供水系统是本文的重要研究内容。 通过实际生产运行证实，不管投入运行的单晶炉数量如何变化，该冷却系 统对炉体的冷却都达到了预期的效果，并具有恒压变频、自动警告、故障处理、 备用切换等功能，较好的满足了单晶炉炉体的冷却要求。 关键词：单晶炉；PLC；冷却水；恒压；自动控制 I AB ABSTRAC ABSTRAC There are various ways to grow monocrystalline silicon，at present the mainly methods are the zone melting method and czochralski method.But no matter what kind of growth method is used，the requirement for temperature of the whole growth process is quite strict. Monocrystalline furnace is the most important apparatus for the growth of monocrystalline silicon.The work temperature inside monocrystalline furnace is about 1400 ℃，but the material of monocrystalline furnace is stainless steel which tolerable temperature is about 300℃. If the furnace works under high temperature over 300℃ for a long time，due to oxidation，the furnace body will turned yellow and be corrosion .It shorts the service life of furnace severely，and affect the economic benefit. In order to prevent the furnace temperature to be too high，we must cool the furnace body. According to the requirements of an enterprise’s monocrystalline silicon ingot furnace for cooling water，this article combined the actual situations in the production，has designed a set of furnace cooling control system based on Siemens S7-200 series with PLC as the core to cool the furnace circularly. The core of the whole system is the constant pressure frequency conversion control of cooling water. In addition， the research of the cooling water，chilled water control，the air conditioning chilled water control of the workshop，backup reserve constant pressure fr