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文 件 修 订 记 录
序号 修 改 内 容 修改人 日 期 版本
1 首次发行 谢超凡
1. 目的：
对一次清洗减薄量进行监控，确保制绒质量。
2. 适用范围：
156 多晶一次清洗工序
3. 责任：
本工艺说明由工艺部制定修改，生产人员按照要求执行。
4. 设备：
电子天平
5. 操作步骤：
5.1 在电脑上打开“一次清洗减薄量监控”表格，找到当日日期及时间，在对应表格中填写
硅片厂家、批次、硅片型号信息，为数据记录做好准备。
5.2 在已拆盒的原硅片中取 8 片，层叠整齐后置于电子天平内，待数值显示稳定后读取数值，
输入到表格“清洗前”一栏中，保存数据。
5.3 将称重后的硅片按每道一片进行放片，同时通知下料人员注意收片。为了区分出称重片，
在放置这 8 片硅片时要与其他正常生产的硅片隔出一定距离， 使下料人员能够区分出这 8 片。
5.4 到设备主操作台处读取制绒参数，包括制绒槽设定温度、实际温度、滚轮速度、称重片
数的信息，将数据分别填入对应表格中。
5.5 待 8 片称重片传出设备后，下料人员收集好，到电脑桌处进行再次称重，将读到的数据
填入“清洗后”一栏中，表格会自动算出减薄量。称重作业完成。
称重前务必保持电子天平处于水平状态，可观察水平浮泡进行调整。
5.6 电子天平操作说明：
5.6.1 电子天平定置后，接通电源，调节水平调节钮，使水平浮泡置于中间圆心处。
5.6.2 待“OK”指示灯常亮绿色后，按 TARE POWER清零，使界面显示 0.00，此时电子天平
准备好，可以进行称重操作。
6. 减薄量 SPEC线：
6.1 控制线：
一次清洗工序减薄量控制线 CL=4.0 μm，控制上限 UCL=4.2μm，控制下限 LCL=3.8 μm。
6.2 规格线：
一次清洗工序减薄量规格上限 USL=4.5μm，规格下限 LSL=3.5 μm。
6.3 控制要求：
6.3.1 换班后的第一次称重，减薄量不小于 3.6 μm时即可上片。
6.3.2 生产过程中减薄量测得数据超出控制线，生产继续，并及时通知工艺人员进行确认调
整，使减薄量数据符合控制线要求。
6.3.3 生产过程中减薄量测得数据超出规格线，马上停止生产，并通知工艺人员，待工艺调
整正常后方可继续生产。
7. 监控频率
7.1 换班次生产前要进行本班第一次称重，生产过程中每隔一个小时进行一次称重。
7.2 生产中途停产超过半个小时以上，恢复生产后进行称重。
7.3 换片源厂家时要进行一次称重。
8. 记录表单
一次清洗减薄量监控表
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