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2022年至纯科技研究报告 1 、至纯科技布局泛半导体设备领域 1.1 深耕泛半导体清洁设备，多项业务板块不断取得突破 国内领先的半导体工艺装备和材料供应商。至纯科技成立于 2000 年，2017 年 1 月在上交 所主板上市，以“关注核心工艺，服务关键制程需求”为战略，立志成为国内领先的半导体工 艺装备和材料供应商，并代表本土品牌参与国际竞争。公司的主营业务包括高纯工艺系统、半 导体湿法清洗设备、光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售，广泛应用于半导体、 微电子、生物医药、光伏、光纤、TFT-LCD、LED 等领域 组织架构清晰，业务板块分工明确。公司组织架构主要由 5 个事业部组成，2017 年上市元 年，子公司更名设立了至纯集成作为高纯工艺业务经营和发展主体（BU1）；公司投资设立至 微科技作为湿法设备事业部研发生产销售主体（BU2）；收购波汇科技作为光电子业务经营和 发展主体（BU5）；2019-2020 年公司并购了珐成制药与广州浩鑫，成为公司生物制药业务板块 的经营和发展主体（BU4）；2020 年投资成立至一科技作为先进工艺材料业务经营和发展主体 （BU3）。目前，各业务板块及事业部已完成各自子公司的创建及组织架构的优化，形成了集 团职能平台和基于客户、产品和区域三个维度的事业部制（BU1-BU5）组织架构。 多项业务技术不断突破、进展顺利。1）公司在半导体制程设备领域主要生产前道工艺设备中的湿法设备，包含槽式湿法设备及单片式湿法设备，所部署的技术路线目前可覆盖国内产线 成熟工艺及先进工艺所涉及的全部湿法工艺。2）公司在高纯气化设备领域中已经成为国内该类 设备的领先者，其中气体及化学品支持设备业务进展顺利，已成功完成了多项高纯工 艺系统核心设备及相关控制软件的研发制造，每年交付的各类设备超过 5000 台套。3）公司高 纯工艺系统集成业务板块保持持续增长，通过使用自制设备与软件替代外购，工艺水平已能够 实现 ppb（十亿分之一）级的不纯物控制。4）公司在合肥布局晶圆再生及部件清洗项目，目前 已通线试产，是国内首条投产的 12 英寸晶圆再生产线，部件清洗项目为国内首条设立完整的阳 极产线。该项目以 14 纳米晶圆厂需求为设计基础，年产 168 万片再生晶圆和 120 万件半导体再 生零部件。 1.2 受益泛半导体高景气，公司营收高增长，毛利率稳中有升 近五年营收和扣非归母净利润快速增长。2017 至 2021 年，公司营业收入分别为 3.69/6.74 /9.86/13.97/20.84亿元，营收增速保持在 40%以上，年复合增长率为 54.16%；2022Q1 公司实现营业收入 5.48 亿元，同比增长 136.98%。 同 期 ， 公 司 扣 非 归 母 净 利 润 保 持 持 续 增 长 态 势 ， 2017 至 2021 年 分 别 为 0.41/0.29/0.91/1.11/1.62 亿元，年复合增长率为 40.99%；2022Q1 实现扣非归母净利 0.39 亿元， 同比增长 1130.87%。 泛半导体板块高速发展，毛利率稳中有升。分业务板块来看，公司高纯工艺系统及设备业 务保持平稳增长态势，2021 年实现营收 10.78 亿元，同比增长 24.91%，毛利率为 34.71%，较 2020 年提高 2.95 个百分点；半导体设备板块高速发展，2019-2021 年营收分别为 0.82/2.18/ 7.01 亿元，继 2020 年同比增长 165.85%后，2021 年再创新高，同比增长 221.56%，毛利率为 32.48%，较 2020 年提高 2.63 个百分点；光传感及光电子业务较为稳定，2019-2021 年营收分别 为 2.65/3.15/3.03 亿元，毛利率较高，近 3 年保持在 50%以上。 1.3 合同负债与存货持续增长，在手订单规模不断扩大 合同负债与存货持续增长。2021 年至纯科技合同负债与存货分别为 2.40 亿元和 11.95 亿元， 创历史新高，合同负债与存货增长表明公司在手订单规模不断扩大。 2021 年新增订单同比增长 64.80%，2022 年有望保持高增长。公司在 2017 年上市后第一个 五年里，实现了销售订单从 3 亿元到 32 亿元的高速增长。2021 年公司新增订单总额为 32.30 亿元，同比增长 64.80%，其中半导体设备新增订单 11.20 亿元，同比增长 111.32%。2022 年公 司的新增订单目标为超过 40 亿元 1.4 研发高强度投入，拟定增可转债助力泛半导体业务 研发高强度投入，增强公司长期竞争力。公司所在的泛半导体领域具有高技术壁垒，研发 周期长，难度大的特点，持续大规模研发投入是构建核心竞争力的基础，也是驱动长期发展的 根