原创力文档用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
4#
5#
6#
研磨颗粒
二氧化铈
0.5
－
－
－
－
－
覆盖铝的二氧化硅
－
30
－
－
－
－
聚甲基丙烯酸甲酯
－
－
10
－
－
－
三氧化铝
－
－
－
2
－
－
二氧化钛
－
－
－
－
10
－
掺杂铝的二氧化硅
－
－
－
－
－
10
季铵盐型阳离子表面活性剂
苯二亚甲基-双（八烷基二甲基氯化铵）
0.1
－
－
－
－
－
三乙氧基-双（十八烷基二乙基溴化铵）
―
0.1
－
－
－
－
聚亚甲基（30）-双（十六烷基二乙基溴化铵）
－
－
0.0001
－
－
－
四亚甲基
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