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MOS基异质材料的制备与生物信号感知性能研究

摘要

随着科技的不断发展，人们的生活水平得到了显著提升。与此同时，公众对环境质量

和个人安全的关注也日益增加。特别是在面对日益严重的环境污染问题以及潜在的健康与

安全威胁时，人们对有毒、易燃易爆气体以及与疾病相关气体的实时监测需求日益迫切。

气体传感器不仅能够实时监测空气中的有害气体，还能为健康诊断提供关键数据支持，其

在多个领域的广泛应用正逐步改变着人们的生活方式和环境保护方式。以金属氧化物半导

体（MOS）的作为气体传感器材料时，通过异质结界面工程将MOS与二维材料进行复合，

可借助界面电荷迁移调控、表面化学吸附增强及反应路径优化等机制突破上述限制，从而

HSNO

实现传感性能的全面提升。本研究针对硫化氢（）与二氧化氮（）的高灵敏检测需

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求，从材料结构设计与复合工艺入手，构建了三种新型异质结敏感材料，系统探究了其响

应机制，具体研究内容如下：

1.通过准二维电化学沉积法成功构建还原氧化石墨烯（rGO）与CuO纳米线的异质界

2

SEMXPSrGOCuO

面。与表征表明，的高导电性与2纳米线表面缺陷的协同作用显著提升

了电子迁移效率，同时诱导CuS化合物生成，增强表面对HS的催化转化能力。传感器对

x2

50ppmHS的响应是0.05ppmHS的近500倍。检测限低至10ppb，并展现优异的选择性

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及湿度适应性（相对湿度10%~90%，响应波动8%）。

2.ZnOTiCTMXeneMXene

基于水热法合成纳米颗粒与32X复合体系，的二维层状结构

有效抑制ZnO粒子团聚，其表面丰富官能团为HS吸附提供活性位点。当MXene掺杂量

2

为1.0wt%时，材料对5ppmHS的响应达85.116（较纯ZnO提升14倍），100ppb浓度下

2

响应/恢复时间缩短至50s/115s。临床呼气测试表明，该传感器可精准区分健康者与患者呼

气样本，为无创疾病诊断提供技术支撑。

3.针对传统MOFs导电性不足的瓶颈，采用一步溶液法将ZIF-67金属有机框架与rGO

复合，利用rGO的强导电性来增强电荷传输效率，同时保留ZIF-67的多孔吸附特性。优化

后的复合材料对5ppmNO的响应较纯rGO提升13倍，检测限达0.5ppm，并实现15s快

2

40s205%NH

速响应与完全恢复。此外，材料在天稳定性测试中性能衰减低于，且对3、

CO等干扰气体具有高选择性，证实其实际应用潜力。

本研究揭示了异质结界面调控对气敏性能的增强机制：通过异质组分间能带匹配优化

电子传输路径，结合材料结构与表面活性位点设计，显著提升气体吸附效率与反应动力学。

IV

临沂大学硕士学位论文

所开发的系列敏感材料在室温检测灵敏度、选择性及稳定性方面取得突破，为环境监测与

医疗诊断领域的传感器设计提供了理论依据与技术参考。

关键词：

金属氧化物半导体（MOS）；异质结构；