电子行业半导体材料系列报告（5）：电子特气，半导体晶圆制造之血液.pdf

[table_main] 行业深度模板 证券研究报告 ·行业深度研究 半导体材料系列报告：（5）电子 [table_indusname] 电子 特气：半导体晶圆制造之血液 电子气体是晶圆制造的血液，半导体是最重要的应用方向 电子气体是特种气体的一个重要分支，是超大规模集成电路、平面 显示器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。根据中 维持 强于大市 国工业气体工业协会统计，2019 年国内电子特种气体需求80 亿元， 其中集成电路用特种气体需求为35 亿元，是电子气体最重要的下游 发布日期： 2020 年06 月 24 日 应用。电子气体常常在晶圆制造过程中的光刻、刻蚀、CVD/PVD 等 步骤重复使用，作为半导体制造中的核心原料，市场价值是除硅晶 圆之外的最大材料，因此重要性和市场价值不言而喻。 电子气体行业壁垒较高，部分国产公司已取得实质性突破 电子特气壁垒较高，主要是企业客户的资质认证较难，且时间很长。 客户对气体供应商的选择均需经过审厂、产品认证 2 轮严格的审核 认证，集成电路领域的审核认证周期长达2-3 年；另一方面，电子特 气在下游制造过程中的成本占比相对较低，但对电子产品性能影响 较大，一旦质量出现问题，下游客户将会产生较大损失。因此为了保 市场表现 持气体供应稳定，客户在与气体供应商建立合作关系后不会轻易更 112% 换气体供应商。目前，部分气体产品国产化已取得突破。截止2019 92% 72% 年，半导体制造过程中用到的83 种电子气体，其中有35% 已实现本 52% 土化，包括高纯硅烷、高纯氨、高纯笑气、氖气和高纯CL2 等。 32% 12% -8% 外资企业占主导地位，国内电子气体市场快速增长迎来机遇 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 / / / / / / / / / / / / 6 7 8